[發(fā)明專利]一種基于共振腔增強(qiáng)的位置敏感傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011013269.5
• 申請(qǐng)日: 2020-09-24
• 公開（公告）號(hào): CN112259625B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建軍;張令宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L31/0352
• 分類號(hào): H01L31/0352;H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/105;H01L31/18
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 劉萍

1.一種基于共振腔增強(qiáng)的位置敏感傳感器，其特征在于：從上而下包括兩個(gè)上電極、增透膜、上布拉格反射鏡、諧振腔、下布拉格反射鏡、N型襯底層、下公共電極；光吸收層是由上布拉格反射鏡、諧振腔和下布拉格反射鏡組成的共振腔結(jié)構(gòu)，上布拉格反射鏡由單層厚度分別為1/4諧振腔諧振波長的低折射率材料層和高折射率材料層交替組成，下布拉格反射鏡由單層厚度分別為1/4諧振腔諧振波長的低折射率材料層和高折射率材料層交替組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于共振腔增強(qiáng) 的位置敏感傳感器，其特征在于：上布拉格反射鏡的反射率達(dá)到80％以上，下布拉格反射鏡的反射率達(dá)到95％以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于共振腔增強(qiáng) 的位置敏感傳感器，其特征在于：增透膜是一層透明不導(dǎo)電的材料。