[發明專利]一種激光掃描振鏡性能檢測裝置

在審

• 申請號: 202011009322.4
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN112432765A
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 李昌立
• 申請（專利權）人: 菲茲克光電（長春）有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01M11/04
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 符繼超

1.一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，包括：光學平臺(1)、振鏡(2)、激光器(3)、振鏡調整臺(4)、方位旋轉臺(5)、數據采集器和光學聚焦鏡頭(7)；其中，所述振鏡調整臺(4)、所述方位旋轉臺(5)和所述數據采集器均固定安裝于所述光學平臺(1)上；所述振鏡(2)固定在所述振鏡調整臺(4)上；所述方位旋轉臺(5)與所述振鏡調整臺(4)對應設置；

所述數據采集器包括：探測器(61)、同步采集電路箱(62)和工控機(63)；所述探測器(61)安裝在所述方位旋轉臺(5)上；所述探測器(61)前面裝有所述光學聚焦鏡頭(7)，所述探測器(61)頂端安裝有所述激光器(3)；所述探測器(61)、所述光學聚焦鏡頭(7)和所述激光器(3)機械連接；所述探測器(61)與所述同步采集電路箱(62)電性連接；所述同步采集電路箱(62)與所述工控機(63)電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，所述振鏡(2)通過裝卡結構固定于所述振鏡調整臺(4)上。

3.根據權利要求1所述的一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，所述激光器(3)還包括：鮑威爾棱鏡；所述激光器(3)發射的平行激光，穿過所述鮑威爾棱鏡形成“一”字光源。

4.根據權利要求1所述的一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，所述振鏡調整臺(4)包括：雙軸調節臺和剪式升降臺；所述剪式升降臺一端固定于所述光學平臺(1)上，另一端與所述雙軸調節臺連接。

5.根據權利要求4所述的一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，所述光學聚焦鏡頭采用F-θ場鏡。

6.根據權利要求4所述的一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，所述探測器(61)包括：光電傳感器和前放板；所述光電傳感器采集數據，經過所述前放板傳送給所述同步采集電路箱(62)。

7.根據權利要求6所述的一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，所述同步采集電路箱(62)包括數據采集卡和AD轉換模塊；所述數據采集卡處理所述前放板放大、濾波后的信號；再經所述AD轉換模塊得到數字信號，傳輸給所述工控機。

8.根據權利要求1-7任一項所述的一種激光掃描振鏡性能檢測裝置，其特征在于，所述振鏡(2)的最大擺角為±α°，所述最大擺角的角度定義為所述振鏡(2)與垂直方向的夾角。