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[發明專利]用于測定墨滴的光學系統在審

專利信息
申請號: 202011007776.8 申請日: 2020-09-23
公開(公告)號: CN113640218A 公開(公告)日: 2021-11-12
發明(設計)人: 韓政洹 申請(專利權)人: 三星顯示有限公司
主分類號: G01N21/01 分類號: G01N21/01;G01N21/84;G01B11/00
代理公司: 北京鉦霖知識產權代理有限公司 11722 代理人: 李英艷;玉昌峰
地址: 韓國京畿*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 測定 光學系統
【權利要求書】:

1.一種用于測定墨滴的光學系統,其中,包括:

腔室,安裝有被噴出墨滴的基板;

光學測定部,設置在所述腔室外部,并朝向所述基板照射光而測定所述墨滴的狀態;

光學部,設置在所述腔室內部,并位于光路徑上;以及

保護模組,具備移動部和輥部,所述移動部配置于所述光學部周圍并進行升降運動,所述輥部向所述光學部和所述基板之間供應膜。

2.根據權利要求1所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

在所述腔室設置有透明窗口,使得從設置在所述腔室外部的所述光學測定部照射的光能夠沿著光路徑向設置在所述腔室內部的所述光學部行進。

3.根據權利要求2所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

所述光學測定部、所述透明窗口以及所述光學部向垂直方向設置。

4.根據權利要求1所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

所述移動部包圍所述光學部,并借助驅動部而進行升降運動來選擇性地接觸于所述膜的上面。

5.根據權利要求4所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

在所述移動部的下方還設置有附著部,使得所述移動部的底面和所述膜的上面彼此緊貼,

所述附著部包括多個配線,所述多個配線設置在所述移動部內并被施加電源,使得相對于所述移動部用靜電力拉拽所述膜。

6.根據權利要求4所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

在所述移動部的下方還設置有附著部,使得所述移動部的底面和所述膜的上面彼此緊貼,

所述附著部包括粘著部,所述粘著部配置于所述移動部的底面而相對于所述移動部粘著所述膜。

7.根據權利要求4所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

在所述移動部的下方還設置有附著部,使得所述移動部的底面和所述膜的上面彼此緊貼,

所述附著部包括O型環,所述O型環配置在所述移動部的底面,并對所述膜的上面加壓。

8.根據權利要求1所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

在所述光學部周圍還設置有包圍所述光學部的防護部,

所述防護部的下端結合于所述移動部,使得密閉被設置所述光學部的空間。

9.根據權利要求1所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

所述輥部包括:

第一輥,配置在所述光學部的第一側;以及

第二輥,配置在所述光學部的第二側,

所述膜介于所述第一輥和所述第二輥之間而向所述光學部的下方移動。

10.根據權利要求1所述的用于測定墨滴的光學系統,其中,

所述光學測定部及所述光學部跨所述基板上的整個區域設置有至少一個。

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