[發明專利]一種微機械音叉陀螺

有效

• 申請號: 202011005131.0
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN113137959B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 趙前程;閆桂珍;崔健;楊振川
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: G01C19/5747
• 分類號: G01C19/5747
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 茍冬梅

1.一種微機械音叉陀螺，其特征在于：它包括襯底、在襯底上固定陀螺可動結構的錨點、驅動框架結構、慣性質量塊、敏感框架結構、連接驅動框架結構和慣性質量塊的彈性梁、連接慣性質量塊與敏感框架結構的彈性梁、連接敏感框架結構與錨點結構的彈性梁、連接驅動框架結構與錨點結構的彈性梁、將兩個驅動框架結構連接的彈性梁、檢測電極單元和驅動電極單元；所述檢測電極單元由非可動電極、固定非可動電極的錨點、連接于陀螺可動結構的可動電極組成；所述 驅動電極單元由非可動電極、固定非可動電極的錨點、連接于陀螺可動結構的可動電極組成；

所述固定陀螺可動結構的錨點的中心點布置于陀螺結構的同一條對稱軸上。

2.如權利要求1所述的一種微機械音叉陀螺，其特征在于：所述陀螺的結構分別在陀螺驅動軸方向和檢測軸方向上軸對稱。

3.如權利要求1所述的一種微機械音叉陀螺，其特征在于：在結構空間允許的條件下，驅動電極單元和檢測電極單元中非可動結構的錨點中心點處于所述的同一條 對稱軸上或最大限度的靠近所述的對稱軸。

4.如權利要求1所述的一種微機械音叉陀螺，其特征在于：陀螺驅動框架結構的一條或多條邊框采用有鏤空的桁架結構。

5.如權利要求1所述的一種微機械音叉陀螺，其特征在于：驅動框架結構和慣性質量塊之間、慣性質量塊與敏感框架結構之間、敏感框架結構與錨點結構之間、驅動框架結構與錨點結構之間、兩個驅動框架結構之間分別采用至少一條單自由度折疊型彈性梁連接。

6.如權利要求1所述的一種微機械音叉陀螺，其特征在于：連接于驅動框架結構的可動電極與固定于襯底上的非可動電極構成一組或多組驅動電極單元。

7.如權利要求1所述的一種微機械音叉陀螺，其特征在于：連接于檢測框架結構的可動電極與固定于襯底上的非可動電極構成一組或多組檢測電極單元。