[發明專利]一種基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置及方法

在審

• 申請號: 202011003373.6
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN112083632A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 陳乃奇
• 申請（專利權）人: 深圳市先地圖像科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市友邦專利代理事務所(普通合伙) 44600
• 代理人: 朱暉

1.一種基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置，其特征在于，包括：

LED陣列，其包括驅動器和發光二極管，多個所述發光二極管陣列形成LED陣列，所述驅動器分別控制每個發光二極管；

光學組件，其使LED陣列的出射光聚焦于成像面，實現對成像面上感光材料表面的曝光，并形成圖像。

2.根據權利要求1所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置，其特征在于，所述光學組件包括成像鏡頭和光學鏡筒，所述LED陣列和成像鏡頭分別設置在光學鏡筒的兩端。

3.根據權利要求1所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置，其特征在于，還包括導軌組件，一個或多個所述光學組件安裝在導軌組件上，所述導軌組件帶動光學組件在多個方向上運動。

4.根據權利要求3所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置，其特征在于，所述導軌組件包括第一導向件和第二導向件，所述光學組件安裝在第一導向件上，所述第一導向件安裝在第二導向件上。

5.根據權利要求4所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置，其特征在于，所述第一導向件包括滑板和導軌，所述滑板帶動光學組件在導軌上運動，所述導軌安裝在第二導向件上。

6.根據權利要求5所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置，其特征在于，第二導向件包括滑塊和掃描導軌，所述導軌的兩端分別通過滑塊滑動安裝在相對設置的掃描導軌上。

7.一種基于LED陣列的數字投影無掩模曝光方法，其特征在于，使用如權利要求1-6任一所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光裝置，包括以下步驟：

驅動器控制LED陣列發光形成投射影像，投射影像經光學組件聚焦于成像面，曝光感光材料表面，設置導軌組件帶動光學組件在多個方向上運動，同時LED陣列持續曝光感光材料表面，形成曝光圖像。

8.根據權利要求7所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光方法，其特征在于，所述的設置導軌組件帶動光學組件在多個方向上運動設置為：導軌組件帶動光學組件在第一方向往復運動；再帶動光學組件在與第一方向垂直的第二方向運動設定距離；導軌組件帶動光學組件在第一方向往復運動，循環上述步驟至形成完整的曝光圖像。

9.根據權利要求8所述的基于LED陣列的數字投影無掩模曝光方法，其特征在于，所述設定距離與曝光圖像的寬度相同。