[發(fā)明專利]多路激光高精度同步測量裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011003260.6
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN114252164A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設計）人: 范薇;張?zhí)煊?/a>;石玉森;汪小超;張生佳;姜秀青;張鵬;楊琳
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01J11/00
• 分類號: G01J11/00
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種多路激光高精度同步測量裝置，其特征在于：包括分束器(1)、光程長度調整系統(tǒng)(2)、透明散射球體(3)、熔融石英非球面透鏡(4)、快速光電倍增管(5)、數字示波器(6)、光纖(7)、光電二極管(8)和計算機(10)；

窄帶長脈沖經所述的分束器(1)分為兩束光：一束為參考光，另一束為待測光，沿參考光的傳輸方向依次連接所述的光纖(7)、光電二極管(8)和數字示波器(6)，沿待測光方向依次放置所述的光程長度調整系統(tǒng)(2)、透明散射球體(3)、熔融石英非球面透鏡(4)、快速光電倍增管(5)、數字示波器(6)和計算機(10)；所述的透明散射球體(3)每次對一束測量脈沖進行散射；所述的數字示波器(6)輸入通道一與光電二極管(8)的輸出端連接，輸入通道二與快速光電倍增管(5)的輸出端連接，光電二極管(8)的輸入端與光纖(7)輸出端連接，數字示波器(6)連接計算機(10)來調節(jié)光程長度調整系統(tǒng)(2)。

2.一種多路激光高精度同步測量裝置，其特征在于：包括分束器(1)、光程長度調整系統(tǒng)(2)、透明散射球體(3)、熔融石英非球面透鏡(4)、單次光譜儀(9)和所述的計算機(10)；

超寬帶短脈沖經所述的分束器(1)分為兩束光：一束作為參考光，另一束為待測光，沿參考光和待測光傳輸方向均放置光程長度調整系統(tǒng)(2)，將兩束光同時打在透明散射球體(3)上，然后放置熔融石英非球面透鏡(4)、單次光譜儀(9)和計算機(10)；所述的透明散射球體(3)對兩束測量脈沖進行散射；所述的單次光譜儀(9)將獲取到的干涉數據導入所述的計算機(10)內，對數據進行處理后得到了延時差，該延時差被反饋到光程長度調整系統(tǒng)(2)處，進行光程調整以實現不同測量光束間的同步。

3.根據權利要求1或2所述的多路激光高精度同步測量裝置，其特征在于：所述的透明散射球體(3)被安裝在10μm量級的硬金屬桿上放置在最終作用點處，透明散射球體(3)材料的孔和晶界充當散射點，將經任何方向入射的光重新分配到4π立體角內。