[發(fā)明專利]一種UV解粘膠黏劑，其制備方法以及UV解粘膜

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011002721.8
• 申請(qǐng)日: 2020-09-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112239641B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡鵬;麥啟波;賀海濤;周峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇皇冠新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C09J133/08
• 分類號(hào): C09J133/08;C09J145/00;C09J161/14;C09J175/14;C09J7/25;C09J7/30;C08F220/14;C08F220/18;C08F220/06;C08F218/08;C08F220/28
• 代理公司: 蘇州睿昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32277
• 代理人: 沈彬彬

本發(fā)明公開(kāi)了一種UV解粘膠黏劑，其制備方法及UV解粘膜，該UV解粘膠黏劑包括：原膠100份、高軟化點(diǎn)松香或其衍生物1～20份、低官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物1～10份、高官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物10～30份、環(huán)氧樹(shù)脂固化劑0.01～1份、光引發(fā)劑1～10份、稀釋劑；原膠由如下組分反應(yīng)而得到的：丙烯酸異辛酯40～50份，丙烯酸甲酯40～50份，丙烯酸2～4份，甲基丙烯酸甲酯1～3份，羧乙基丙烯酸酯2～5份，醋酸乙烯酯3～5份，偶氮二異丁腈0.15～0.3份，過(guò)氧化特戊酸戊酯0.15～0.3份，乙酸乙酯150～160份，甲苯55～65份；原膠的重均分子量為90萬(wàn)～120萬(wàn)，T_g為?20℃～?10℃。本發(fā)明的UV解粘膠黏劑，光照前具有高粘結(jié)性，光照后具有超低粘性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及解粘膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種UV解粘膠黏劑，其制備方法以及UV解粘膜。

背景技術(shù)

在大規(guī)模集成電路的制造和半導(dǎo)體器件的制造加工過(guò)程中，必不可少的基礎(chǔ)材料是半導(dǎo)體芯片，半導(dǎo)體芯片是以單晶硅片加工而成的。單晶硅片簡(jiǎn)稱晶圓。在對(duì)晶圓材料進(jìn)行切割、磨削加工時(shí)，需要用一種特殊的保護(hù)膜進(jìn)行粘結(jié)固定晶圓，確保晶圓邊沿整齊，無(wú)多角、崩邊、裂紋，表面無(wú)劃傷、無(wú)殘留晶渣及臟物污染。加工完畢后，需要把加工好的晶圓切片從保護(hù)膜上快速輕易地剝離下來(lái)，不污染晶圓材料。這種初期具有高粘結(jié)強(qiáng)度，使用后通過(guò)紫外光照后又可以迅速降低粘性的保護(hù)膜稱之為UV解粘保護(hù)膜。

目前市場(chǎng)上現(xiàn)有的UV解粘膜產(chǎn)品性能有限，如公開(kāi)號(hào)為CN103923572A的專利公開(kāi)了一種UV可剝離膠，在加工完經(jīng)過(guò)紫外光照后的剝離力迅速降低，但降低后的剝離力仍然太高，對(duì)晶圓切片的剝離造成不便。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種光照前高粘結(jié)性、光照后超低粘性的UV解粘膠黏劑。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了如下的技術(shù)方案：

本發(fā)明第一方面提供了一種UV解粘膠黏劑，包括按重量份計(jì)的如下組分：原膠100份、高軟化點(diǎn)松香或其衍生物1～20份、低官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物1～10份、高官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物10～30份、環(huán)氧樹(shù)脂固化劑0.01～1份、光引發(fā)劑1～10份、稀釋劑；

所述原膠是由按重量份計(jì)的如下組分經(jīng)聚合反應(yīng)而得到的：丙烯酸異辛酯40～50份，丙烯酸甲酯40～50份，丙烯酸2～4份，甲基丙烯酸甲酯1～3份，羧乙基丙烯酸酯2～5份，醋酸乙烯酯3～5份，偶氮二異丁腈0.15～0.3份，過(guò)氧化特戊酸戊酯0.15～0.3份，乙酸乙酯150～160份，甲苯55～65份；且所述原膠的重均分子量為90萬(wàn)～120萬(wàn)，T_g為-20℃～-10℃。

本發(fā)明中，所述高軟化點(diǎn)松香或其衍生物指的是軟化點(diǎn)為120℃～160℃的松香或其衍生物，選用高軟化點(diǎn)的增粘樹(shù)脂，既能夠增加UV解粘膠黏劑的初始剝離力，又能提高耐溫性能。進(jìn)一步地，所述高軟化點(diǎn)松香或其衍生物選自萜烯酚樹(shù)脂、松香改性酚醛樹(shù)脂中的一種或兩種。

本發(fā)明中，所采用的低官能度與高官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物與原膠具有良好的相容性，使本發(fā)明的膠黏劑在UV光照前具有高剝離強(qiáng)度和內(nèi)聚力。在紫外光的照射下，低官能度與高官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物發(fā)生交聯(lián)，低官能度與高官能度的合理搭配使得交聯(lián)反應(yīng)的空間位阻減小，交聯(lián)反應(yīng)能夠更充分的進(jìn)行，從而顯著的降低粘結(jié)力。優(yōu)選地，所述低官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物選自二官能度、三官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物中的一種或兩種；所述高官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物選自六官能度、九官能度、十官能度、十二官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物中的一種或多種。更優(yōu)選地，所述低官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物為三官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物，所述高官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物選自六官能度、九官能度脂肪族聚氨酯丙烯酸酯齊聚物中的一種或兩種。

進(jìn)一步地，所述光引發(fā)劑選自1-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦中的一種或兩種。