[發明專利]高鈧鋁鈧合金靶及其靶材綁定方法

在審

• 申請號: 202010987309.X
• 申請日: 2020-09-18
• 公開（公告）號: CN112063977A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 陳力學
• 申請（專利權）人: 長沙神弧離子鍍膜有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;王麗霞

1.一種高鈧鋁鈧合金靶，包括不銹鋼筒體（1），該不銹鋼筒體（1）前端設有腔端口由銅背板（3）密封的冷卻水腔（2），所述銅背板固定圈（4）同不銹鋼筒體（1）前端側螺紋連接并將銅背板（3）壓蓋在不銹鋼筒體（1）前端，其特征是，所述銅背板（3）連接高鈧鋁鈧合金靶材（6），限位元件（7）用連接元件（8）同銅背板固定圈（4）相連接，且該限位元件（7）同所述高鈧鋁鈧合金靶材（6）的前表面外周相連而使鈧鋁鈧合金靶材（6）保持同銅背板（3）連接。

2.根據權利要求1所述高鈧鋁鈧合金靶，其特征是，所述高鈧鋁鈧合金靶材（6）為含鈧量為30at%—45at%的鋁鈧合金。

3.根據權利要求1所述高鈧鋁鈧合金靶，其特征是，所述冷卻水腔（2）外側的不銹鋼筒體（1）前端與銅背板（3）之間設有密封圈（5）。

4.根據權利要求1所述高鈧鋁鈧合金靶，其特征是，所述連接元件（8）為螺釘。

5.根據權利要求1所述高鈧鋁鈧合金靶，其特征是，所述限位元件（7）為限位圓環。

6.根據權利要求5所述高鈧鋁鈧合金靶，其特征是，所述限位環（7）為鉭環。

7.一種利用權利要求1—6任一項所述高鈧鋁鈧合金靶綁定高鈧鋁鈧合金靶材的方法，其特征是，限位元件（7）用連接元件（8）同銅背板固定圈（4）相連接，連接元件（8）對銅背板固定圈（4）的緊固程度為：能使高鈧鋁鈧合金靶材（6）與銅背板（3）保持良好接觸以使靶材與銅背板之間具有導電與熱傳導性能，并使高鈧鋁鈧合金靶材（6）在鍍膜過程中不會因連接元件（8）的緊固作用而產生脆性開裂。