[發明專利]掩模組件、制造顯示裝置的設備及制造顯示裝置的方法

在審

• 申請號: 202010986810.4
• 申請日: 2020-09-18
• 公開（公告）號: CN112662991A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 安洪均;金義圭
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/12;C23C14/14;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

1.掩模組件，包括：

掩模框架，包括框架本體部分和多個分隔件，所述框架本體部分布置在所述掩模框架的外部處，并且所述多個分隔件將所述框架本體部分的內部劃分成多個開口，所述多個分隔件中的在第一方向上布置的分隔件與在第二方向上布置的分隔件彼此連接；以及

多個掩模片，布置在所述掩模框架的頂表面上，與所述掩模框架聯接，并且包括至少一個圖案開口，所述多個掩模片在所述第一方向上彼此分離。

2.根據權利要求1所述的掩模組件，其中，所述多個分隔件包括：

第一分隔件，連接到所述框架本體部分并且在所述第一方向上布置；以及

第二分隔件，連接到所述框架本體部分和所述第一分隔件，并且在所述第二方向上布置。

3.根據權利要求1所述的掩模組件，其中，所述多個分隔件中的至少一個分隔件的側面是錐形的。

4.根據權利要求1所述的掩模組件，其中，所述多個分隔件中的至少一個分隔件的頂表面和底表面中的一個的寬度小于所述至少一個分隔件的所述頂表面和所述底表面中的另一個的寬度。

5.用于制造顯示裝置的設備，所述設備包括：

室，在所述室中布置顯示襯底；

掩模組件，在所述室的內部布置成面對所述顯示襯底；以及

沉積源，在所述室的內部布置成面對所述掩模組件，并向所述顯示襯底供應沉積材料，

其中，所述掩模組件包括：

掩模框架，包括框架本體部分和多個分隔件，所述框架本體部分布置在所述掩模框架的外部處，并且所述多個分隔件將所述框架本體部分的內部劃分成多個開口，所述多個分隔件中的在第一方向上布置的分隔件與在第二方向上布置的分隔件彼此連接；以及

多個掩模片，布置在所述掩模框架的頂表面上，與所述掩模框架聯接，并且包括至少一個圖案開口，所述多個掩模片在所述第一方向上彼此分離。

6.根據權利要求5所述的設備，其中，所述多個分隔件包括：

第一分隔件，連接到所述框架本體部分并且在所述第一方向上布置；以及

第二分隔件，連接到所述框架本體部分和所述第一分隔件，并且在所述第二方向上布置。

7.根據權利要求5所述的設備，其中，所述多個分隔件中的至少一個分隔件的側面是錐形的。

8.根據權利要求5所述的設備，其中，所述多個分隔件中的至少一個分隔件的頂表面和底表面中的一個的寬度小于所述至少一個分隔件的所述頂表面和所述底表面中的另一個的寬度。

9.制造顯示裝置的方法，所述方法包括：

布置掩模框架，所述掩模框架包括框架本體部分和多個分隔件，所述框架本體部分布置在所述掩模框架的外部處，并且所述多個分隔件將所述框架本體部分的內部劃分成多個開口，所述多個分隔件中的在第一方向上布置的分隔件與在第二方向上布置的分隔件彼此連接；

在所述掩模框架上布置第一掩模片構件，所述第一掩模片構件包括第一遮擋部分和第一圖案部分，在所述第一圖案部分中布置有至少一個第一圖案開口；

將所述第一遮擋部分和所述第一圖案部分固定在所述掩模框架上；

去除所述第一遮擋部分；

布置包括第二遮擋部分和第二圖案部分的第二掩模片構件，使得所述第一圖案部分對應于所述第二遮擋部分，并且所述第二圖案部分對應于所述第一遮擋部分，在所述第二圖案部分中布置有至少一個第二圖案開口；

將所述第二遮擋部分和所述第二圖案部分固定在所述掩模框架上；以及

去除所述第二遮擋部分。

10.根據權利要求9所述的方法，還包括在所述第一掩模片構件的縱向方向上拉緊所述第一掩模片構件；以及

在所述第二掩模片構件的縱向方向上拉緊所述第二掩模片構件。