[發(fā)明專利]一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010983447.0 | 申請日： | 2020-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN112086397B | 公開（公告）日： | 2021-09-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊在長 | 申請（專利權(quán)）人： | 嘉興考普諾機械科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/687 | 分類號： | H01L21/687;H01L21/48;H01L21/67 |
| 代理公司： | 嘉興倍創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33395 | 代理人： | 徐明雙 |
| 地址： | 314500 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 晶體管 制造 具有 剔除 功能 成型 裝置 | ||
1.一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置，包括機架(3)、用于輸送的輸送機構(gòu)(4)、隔離機構(gòu)(5)、晶體管(6)，所述輸送機構(gòu)(4)設(shè)置在所述機架(3)內(nèi)側(cè)，所述隔離機構(gòu)(5)設(shè)置在所述機架(3)前后兩側(cè)，所述晶體管(6)下端位于所述機架(3)內(nèi)側(cè)且位于所述輸送機構(gòu)(4)上方，其特征在于：還包括剔除機構(gòu)(1)和成型機構(gòu)(2)，所述剔除機構(gòu)(1)包括第一激光檢測頭(11)、第一支撐架(12)、第二激光檢測頭(13)、第二支撐架(14)、剔除氣缸(15)、固定架(16)，所述第二支撐架(14)安裝在所述機架(3)前端一側(cè)，所述第一支撐架(12)設(shè)置在所述機架(3)后端一側(cè)，所述第一激光檢測頭(11)安裝在所述第一支撐架(12)上端，所述第二激光檢測頭(13)安裝在所述第二支撐架(14)上端，所述固定架(16)安裝在所述機架(3)前側(cè)一端，所述剔除氣缸(15)固定部安裝在所述固定架(16)前側(cè)；所述成型機構(gòu)(2)包括第一鎖緊架(21)、成型氣缸(22)、第二鎖緊架(23)、成型架(24)、彈簧(25)，所述第一鎖緊架(21)下端安裝在所述機架(3)頂部，所述成型氣缸(22)固定部安裝在所述第一鎖緊架(21)后端，所述成型架(24)上端安裝在所述成型氣缸(22)伸縮部，所述第二鎖緊架(23)上側(cè)安裝在所述成型架(24)前側(cè)，所述彈簧(25)安裝在所述第二鎖緊架(23)上側(cè)且位于所述成型架(24)內(nèi)側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置，其特征在于：所述第二支撐架(14)與所述機架(3)通過螺栓連接，所述第一支撐架(12)與所述機架(3)通過螺栓連接，所述第一激光檢測頭(11)與所述第一支撐架(12)通過螺紋連接，所述第二激光檢測頭(13)與所述第二支撐架(14)通過螺紋連接，所述固定架(16)與所述機架(3)通過螺栓連接，所述剔除氣缸(15)固定部與所述固定架(16)通過螺栓連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置，其特征在于：所述第一鎖緊架(21)與所述機架(3)通過螺栓連接，所述成型氣缸(22)固定部與所述第一鎖緊架(21)通過螺栓連接，所述成型架(24)與所述成型氣缸(22)伸縮部通過螺紋連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置，其特征在于：所述輸送機構(gòu)(4)包括輸送電機(41)、輸送帶(42)、輸送輥(43)、鏈輪(44)、鏈條(45)，所述輸送電機(41)設(shè)置在所述機架(3)前端另一側(cè)，所述輸送輥(43)設(shè)置在所述機架(3)內(nèi)側(cè)，所述輸送帶(42)設(shè)置在所述輸送輥(43)外側(cè)，所述鏈輪(44)設(shè)置在所述輸送輥(43)后端，所述鏈條(45)設(shè)置在所述鏈輪(44)外側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置，其特征在于：所述輸送機構(gòu)(4)包括輸送電機(41)、輸送帶(42)、輸送輥(43)、帶輪(414)、皮帶(415)，所述輸送電機(41)設(shè)置在所述機架(3)前端另一側(cè)，所述輸送輥(43)設(shè)置在所述機架(3)內(nèi)側(cè)，所述輸送帶(42)設(shè)置在所述輸送輥(43)外側(cè)，所述帶輪(414)設(shè)置在所述輸送輥(43)后端，所述皮帶(415)設(shè)置在所述帶輪(414)外側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置，其特征在于：所述隔離機構(gòu)(5)包括隔離輥(51)、隔離帶(52)、隔離板(53)，所述隔離輥(51)設(shè)置在所述機架(3)前后兩側(cè)，所述隔離帶(52)設(shè)置在所述隔離輥(51)外側(cè)，所述隔離板(53)安裝在所述隔離帶(52)外側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于晶體管制造的具有剔除功能的成型裝置，其特征在于：所述輸送電機(41)與所述機架(3)通過螺栓連接，所述輸送輥(43)與所述機架(3)通過軸承連接，所述鏈輪(44)與所述輸送輥(43)通過焊接連接。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
