[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體鋁合金零部件超高潔凈清洗工藝

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010983444.7
• 申請(qǐng)日: 2020-09-18
• 公開（公告）號(hào): CN113751414A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳如明;陳彩麗;卜慶磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英迪那米（徐州）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/12
• 分類號(hào): B08B3/12;B08B3/02;B08B3/08
• 代理公司: 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體鋁合金零部件超高潔凈清洗工藝，包括以下步驟：將待處理零部件通過(guò)清洗液超聲波清洗，然后自來(lái)水沖洗；將清洗后的零部件進(jìn)行二次清洗，然后采用自來(lái)水沖洗；然后將零部件浸沒到除銹液中，浸沒時(shí)長(zhǎng)為5～8分鐘；除銹后進(jìn)行鈍化操作，鈍化之后再用稀釋到3～5％的鈍化液進(jìn)行清洗；然后將清洗后的零部件通過(guò)噴水槍對(duì)零部件進(jìn)行沖洗；采用真空干燥對(duì)噴淋后的零部件進(jìn)行干燥，對(duì)烘干后的零部件上油；再進(jìn)行二次干燥；本發(fā)明零部件進(jìn)行預(yù)清洗，其主要去除孔內(nèi)油污、臟污，進(jìn)行脫脂處理后除去油污，通過(guò)除銹液進(jìn)行除銹，從而保證零部件的潔凈，清洗效果好，沖洗后干燥上油，避免引起損壞，滿足客戶的要求且提高成品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及零部件清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體鋁合金零部件超高潔凈清洗工藝。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體是一種電導(dǎo)率在絕緣體至導(dǎo)體之間的物質(zhì)，其電導(dǎo)率容易受控制，可作為信息處理的元件材料；從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，半導(dǎo)體非常重要。

鋁合金是半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備使用的重要材料，其反應(yīng)室的關(guān)鍵零部件多為鋁合金制造；根據(jù)設(shè)計(jì)要求，這些零部件表面有的需要經(jīng)過(guò)表面處理，比如硬質(zhì)陽(yáng)極氧化、等離子噴涂、導(dǎo)電氧化、刷度鎳等，有的則直接采用鋁金屬表面；在集成電路制造過(guò)程中，鋁合金零部件需經(jīng)常周期性地進(jìn)行清洗，零部件清洗質(zhì)量的好壞關(guān)系到刻蝕工藝是否可以正常進(jìn)行，目前，在鋁合金零件清洗中，水痕(water mark)是經(jīng)常出現(xiàn)的問(wèn)題。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體鋁合金零部件的清洗工藝的方法復(fù)雜并且費(fèi)力費(fèi)時(shí)，清洗效果不明顯。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體鋁合金零部件超高潔凈清洗工藝，解決了現(xiàn)有的半導(dǎo)體鋁合金零部件的清洗工藝的方法復(fù)雜并且費(fèi)力費(fèi)時(shí)，清洗效果不明顯的問(wèn)題。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種半導(dǎo)體鋁合金零部件超高潔凈清洗工藝，該清洗工藝包括以下步驟：

步驟一、將待處理零部件通過(guò)清洗液超聲波清洗，然后自來(lái)水沖洗；

步驟二、將清洗后的零部件進(jìn)行二次清洗，控制水溫在50～65℃，清洗時(shí)間為8～15分鐘；然后采用自來(lái)水沖洗；

步驟三、將經(jīng)過(guò)步驟二處理后的零部件浸沒到除銹液中，浸沒時(shí)長(zhǎng)為5～8分鐘；除銹后進(jìn)行鈍化操作，零部件置于12～20％濃度的鈍化液中，鈍化之后再用稀釋到3～5％的鈍化液進(jìn)行清洗；

步驟四、將經(jīng)過(guò)步驟三清洗后的零部件通過(guò)噴水槍對(duì)零部件進(jìn)行沖洗；

步驟五、采用真空干燥對(duì)噴淋后的零部件進(jìn)行干燥，對(duì)烘干后的零部件上油；再進(jìn)行二次干燥。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述步驟一中超聲清洗2～5min，清洗溫度在62～75℃，其中超聲頻率為40KHz，超聲功率為1000W。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述步驟一和所述步驟二中自來(lái)水沖洗為沖洗時(shí)間3～5min，沖洗壓力為0.15～0.25MPa。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述步驟二中二次清洗的清洗溶液為含有脫脂劑的水溶液，其中脫脂劑的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為6.0～9.5％；所述脫脂劑為脫脂劑FC-301S與脫脂劑FC-4371M的復(fù)配混合物。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述脫脂劑FC-301S與脫脂劑FC-4371M的質(zhì)量之比為1：1.20～1.50。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述步驟三中除銹液的組成為：3％的氫氟酸、20％的硝酸、保護(hù)劑、水按照2：1：1：18的重量比混合而成。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述步驟四中噴水槍的壓力為50～58bar，噴水距離：150～300mm。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述步驟五中上油為：采用噴淋的方式對(duì)零部件上油。