[發明專利]一種脈沖激光單粒子效應試驗等效LET計算方法有效
| 申請號： | 202010982765.5 | 申請日： | 2020-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN112230081B | 公開（公告）日： | 2023-08-25 |
| 發明（設計）人： | 安恒;王鹢;李得天;張晨光;文軒;楊生勝;秦曉剛;曹洲;常思遠 | 申請（專利權）人： | 蘭州空間技術物理研究所 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京之于行知識產權代理有限公司 11767 | 代理人： | 呂曉蓉 |
| 地址： | 730013 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 脈沖 激光 粒子 效應 試驗 等效 let 計算方法 | ||
1.一種脈沖激光單粒子效應試驗等效LET計算方法，其特征在于，依據脈沖激光與重離子在器件敏感體積內沉積的電荷量相等時，脈沖激光和重離子對器件引起的單粒子效應是等效的，包括以下步驟：
(1)根據被測器件DUT的尺寸確定器件的敏感面積；
(2)通過脈沖激光試驗的z向掃描，確定敏感深度z；
(3)根據敏感面積和敏感深度確定敏感體積；
(4)計算分析器件內的載流子分布密度；
(5)在RPP平行六面體模型的敏感體積內對載流子分布密度進行積分計算得到沉積電荷QL，敏感體積的幾何形狀為平行六面體，敏感體積內的電荷收集是均勻的，敏感體積定義了載流子分布密度(CD)積分運算的上下限，通常由RPP模型的橫向尺寸和軸向尺寸決定；
RPP橫向尺寸，就是DUT的敏感面積，當敏感面積比載流子分布區域大得多時，認為敏感面積無限大；當敏感面積比載流子分布區域小時，RPP橫向尺寸即是DUT的幾何尺寸；
RPP軸向尺寸，就是敏感深度z，當被測器件DUT的電荷收集深度確定時，敏感深度z由被測器件的幾何尺寸決定；
當被測器件的敏感深度z未被明確定義時，所述敏感深度z由重離子的電荷收集試驗數據給出；
重離子沉積電荷QHI與試驗觀測到的收集電荷之間關系為：
QHI＝LETHI×z
敏感深度z為QHI對LETHI的斜率；
對于既沒有定義敏感深度，也未知電荷收集效率的器件，可通過分析脈沖激光產生的“等效收集電荷(CC)”來確定敏感深度z，在RPP模型中，這意味著脈沖激光產生的沉積電荷與重離子產生的相等，則有：
QL＝LETHI×z
然后不斷調整修正z值直至公式中的所有試驗數據相匹配，就可確定敏感深度z；
(6)脈沖激光誘發單粒子效應時的等效LETL的值為：
LETL[MeV·cm2/mg]＝(Ep/ρ)×QL[pC]/z[μm]
式中，QL是敏感體積內的激光誘發沉積電荷；Ep是材料中產生一個電子-空穴對的平均能量；ρ是激光入射的材料的密度；
所述被測器件DUT的材料包括硅、砷化鎵、碳化硅或氮化鎵。
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