[發(fā)明專(zhuān)利]用于單晶爐的液體吸取裝置和液體吸取裝置的控制方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010981598.2 | 申請(qǐng)日： | 2020-09-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN112342612A | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-02-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 汪佳 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B15/20 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 歐陽(yáng)高鳳 |
| 地址： | 221004 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 單晶爐 液體 吸取 裝置 控制 方法 | ||
1.一種用于單晶爐(101)的液體吸取裝置(100)，其特征在于，所述單晶爐(101)具有晶體生長(zhǎng)室(101a)和拉晶室(101b)，所述晶體生長(zhǎng)室(101a)內(nèi)適于放置所述單晶爐(101)的坩堝(1011)，且所述晶體生長(zhǎng)室(101a)上形成有連通口(101c)，所述拉晶室(101b)通過(guò)所述連通口(101c)與所述晶體生長(zhǎng)室(101a)連通，所述液體吸取裝置(100)包括：
儲(chǔ)存容器(1)，所述儲(chǔ)存容器(1)適于設(shè)于所述拉晶室(101b)內(nèi)，所述儲(chǔ)存容器(1)內(nèi)限定出儲(chǔ)存空間(10)，且所述儲(chǔ)存容器(1)上形成有液體進(jìn)口(10a)和通氣口(10b)，所述液體進(jìn)口(10a)和所述通氣口(10b)分別與所述儲(chǔ)存空間(10)連通；
抽吸管(2)，所述抽吸管(2)設(shè)在所述儲(chǔ)存容器(1)上且所述抽吸管(2)內(nèi)限定出抽吸通道(20)，所述抽吸通道(20)與所述液體進(jìn)口(10a)連通，所述抽吸管(2)適于通過(guò)所述連通口(101c)伸入所述晶體生長(zhǎng)室(101a)內(nèi)；
抽吸組件(3)，所述抽吸組件(3)與所述通氣口(10b)連通以減小所述儲(chǔ)存空間(10)內(nèi)的壓力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐(101)的液體吸取裝置(100)，其特征在于，所述抽吸管(2)具有入口(20a)和出口(20b)，且包括直管段(22)和彎管段(21)，所述直管段(22)和所述彎管段(21)沿所述抽吸管(2)的軸向依次排布，所述直管段(22)的一端限定出所述入口(20a)且適于通過(guò)連通口(101c)伸入所述晶體生長(zhǎng)室(101a)內(nèi)，所述彎管段(21)的一端連接在所述直管段(22)的另一端，且所述彎管段(21)的另一端限定出所述出口(20b)，所述出口(20b)朝下設(shè)置，
所述液體進(jìn)口(10a)形成在所述儲(chǔ)存容器(1)的頂部，所述直管段(22)位于所述儲(chǔ)存空間(10)外且向下延伸至超過(guò)所述儲(chǔ)存容器(1)的下端，所述彎管段(21)設(shè)于所述液體進(jìn)口(10a)處且與所述儲(chǔ)存空間(10)連通；或者，
所述液體進(jìn)口(10a)形成在所述儲(chǔ)存容器(1)的底部，所述彎管段(21)位于所述儲(chǔ)存空間(10)內(nèi)，所述直管段(22)穿設(shè)于所述液體進(jìn)口(10a)且所述直管段(22)的一部分伸出所述儲(chǔ)存空間(10)外。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶爐(101)的液體吸取裝置(100)，其特征在于，所述直管段(22)與所述儲(chǔ)存容器(1)同軸設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶爐(101)的液體吸取裝置(100)，其特征在于，所述抽吸管(2)固設(shè)于所述儲(chǔ)存容器(1)；或者，
所述抽吸管(2)通過(guò)調(diào)節(jié)組件(4)活動(dòng)安裝于所述儲(chǔ)存容器(1)，所述調(diào)節(jié)組件(4)用于驅(qū)動(dòng)所述抽吸管(2)相對(duì)于所述儲(chǔ)存容器(1)上下移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于單晶爐(101)的液體吸取裝置(100)，其特征在于，所述液體吸取裝置(100)適于與所述單晶爐(101)的提拉組件(1012)相連，以使所述提拉組件(1012)帶動(dòng)所述液體吸取裝置(100)上下移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于單晶爐(101)的液體吸取裝置(100)，其特征在于，當(dāng)所述抽吸管(2)通過(guò)調(diào)節(jié)組件(4)活動(dòng)安裝于所述儲(chǔ)存容器(1)時(shí)，所述調(diào)節(jié)組件(4)設(shè)在所述彎管段(21)和所述儲(chǔ)存容器(1)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的用于單晶爐(101)的液體吸取裝置(100)，其特征在于，所述抽吸管(2)的外周壁上設(shè)有保溫件(5)。
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