[發(fā)明專利]一種活動式橢偏儀安裝單元

在審

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• 申請日: 2020-09-17
• 公開（公告）號: CN112033290A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發(fā)明（設計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權）人: 趙利敏
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;F16M11/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及測試設備技術領域，且公開了一種活動式橢偏儀安裝單元，包括龍門架，龍門架的上端固定連接有橫梁，橫梁的中部卡接有同步滑軌，同步滑軌的前方設置有連接塊，連接塊的內部設置有同步齒輪，同步滑軌的內部貫穿設置有兩根垂直桿，垂直桿的下端固定連接有套筒，套筒的內部活動連接有伸縮桿，橫梁的下方設置有拱形支架，拱形支架的前方設置有兩個移動塊，移動塊延伸進拱形支架的一端偶接有移動輪，移動塊的前端面固定連接有測量臂支架。該活動式橢偏儀安裝單元，通過設置弧形支架，使同步調整兩移動塊時，使其在相反方向沿著同一弧形槽同步移動相同位移，保證了其新位置的偏轉角也相同，從而實現(xiàn)不影響測點位置的同時調整偏轉角。

技術領域

本發(fā)明涉及測試設備技術領域，具體為一種活動式橢偏儀安裝單元。

背景技術

橢偏儀是測量透明、半透明薄膜厚度的主流方法，它采用偏振光源發(fā)射激光，當光在樣本中發(fā)生反射時，會產生橢圓的偏振。橢偏儀通過測量反射得到的橢圓偏振，并結合已知的輸入值精確計算出薄膜的厚度，是一種非破壞性、非接觸的光學薄膜厚度測試技術。在半導體加工工藝中，橢偏儀可以直接被集成到工藝設備上，因此廣受各種半導體生產廠商的青睞。

但是，目前市場上能集成到工藝設備上的橢偏儀大部分不能進行角度和深度的調節(jié)，這給產線在加工不同類型的產品時帶來了極大的麻煩，往往需要重新改造設備，費時費力。

發(fā)明內容

(一)解決的技術問題

針對現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明提供了一種活動式橢偏儀安裝單元，具備可以電控調節(jié)橢偏儀的入射角度與距離的優(yōu)點，解決了目前市場上能集成到工藝設備上的橢偏儀大部分不能進行角度和深度的調節(jié)的問題。

(二)技術方案

為實現(xiàn)上述電控調節(jié)橢偏儀的入射角度與距離的目的，本發(fā)明提供如下技術方案：一種活動式橢偏儀安裝單元，包括龍門架，所述龍門架的上端固定連接有橫梁，所述橫梁的中部卡接有同步滑軌，所述同步滑軌的前方設置有連接塊，所述連接塊的內部設置有同步齒輪，所述同步滑軌的內部貫穿設置有兩根垂直桿，所述垂直桿的下端固定連接有套筒，所述套筒的內部活動連接有伸縮桿，所述橫梁的下方設置有拱形支架，所述拱形支架的前方設置有兩個移動塊，所述移動塊延伸進拱形支架的一端偶接有移動輪，所述移動塊的前端面固定連接有測量臂支架，所述測量臂支架遠離移動塊的一側設置有行程齒輪，所述測量臂支架的內部貫穿設置有偏振測量臂，所述拱形支架的下方設置有移動載臺，所述移動載臺的上表面放置有晶片。

優(yōu)選的，所述同步滑軌中心前側開設有槽道，其內設有齒條同步齒輪相適配，其兩側內部開設有貫穿的槽，對應前側有部分區(qū)域開槽與前表面相貫。

優(yōu)選的，所述連接塊的兩側設置有連接銷。

優(yōu)選的，所述垂直桿的中段開設有數(shù)個貫穿的孔與連接塊上的連接銷適配。

優(yōu)選的，所述拱形支架內部開設有弧形槽道，其槽道的下弧面設置有齒條。

優(yōu)選的，所述移動輪為中心設置有軸承，外齒與拱形支架內齒條相適配的齒輪結構。

優(yōu)選的，所述伸縮桿的兩端活套接在設置于移動塊用于固定移動輪的軸外側。

優(yōu)選的，所述偏振測量臂的外壁設置有配合移動塊上表面形狀的槽和配合行程齒輪的外齒。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明提供了一種活動式橢偏儀安裝單元，具備以下有益效果：

1、該活動式橢偏儀安裝單元，通過拱形支9的前方設置移動塊，在移動塊上角度固定設置偏振測量臂，使測量臂正對移動載臺上表面定點測量時，行程齒輪轉動，使其只沿著光路方向發(fā)生位移，只調整光程而不改變偏角。