[發明專利]一種溫度傳感器

有效

• 申請號: 202010980151.3
• 申請日: 2020-09-17
• 公開（公告）號: CN112097936B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: 韓磊;吳承根
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01K5/72
• 分類號: G01K5/72;G01K5/68
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 吳旭

1.一種溫度傳感器，其特征在于，包括基板、兩個熱驅動V形梁結構，框架形機械超材料結構、應變敏感薄膜；所述基板上設有若干錨點，兩個熱驅動V形梁結構分別位于框架形機械超材料結構的兩側，并左右對稱設置；所述熱驅動V形梁結構包括一對呈V型設置的條形梁以及位于條形梁之間的條形連接塊，條形梁的一端與所述條形連接塊固定連接，條形梁的另一端與基板上的錨點固定連接；兩個所述條形連接塊的一端分別通過一根第一絕緣剛性連接線連接到所述框架形機械超材料結構上；應變敏感薄膜位于所述框架形機械超材料結構的中心位置，通過上下對稱的兩根電連接線將所述應變敏感薄膜的邊緣與基板上的錨點固定連接，并通過位于四角的四根第二絕緣剛性連接線連接到所述框架形機械超材料結構上；

所述框架形機械超材料結構包括左右對稱的兩個口字形框架以及上下對稱的兩個半口字形框架構成；所述兩個半口字形框的左右相對側邊向內側彎折，側邊的端點分別與左右對稱的所述兩個口字形框架的內側頂角連接；所述口字形框架的左右相對側邊向內側呈V形內凹，所述條形連接塊通過所述第一絕緣剛性連接線與所述框架形機械超材料結構的連接點即所述口字形框架外側邊的中點，所述應變敏感薄膜四角連接的所述第二絕緣剛性連接線與所述框架形機械超材料結構的連接點即位于構成所述口字形框架內側邊的上下兩段上。