[發明專利]聚合物及光致抗蝕劑組合物

在審

• 申請號: 202010976510.8
• 申請日: 2020-09-16
• 公開（公告）號: CN112661877A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 宋旸;樸鐘根;E·阿卡德;李明琦;劉聰;J·W·薩克萊;P·特雷福納斯三世
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料有限責任公司
• 主分類號: C08F8/00
• 分類號: C08F8/00;C08F212/14;C08F220/18;G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 樂洪詠;陳哲鋒

1.一種聚合物，其包含：

含有叔酯酸不穩定基團的第一重復單元；以及

具有式(1)的第二重復單元：

其中

R¹是氫、取代或未取代的C_1-12烷基、取代或未取代的C_6-14芳基、取代或未取代的C_3-14雜芳基、取代或未取代的C_7-18芳基烷基、取代或未取代的C_4-18雜芳基烷基、或取代或未取代的C_1-12鹵代烷基，

R²和R³各自獨立地是直鏈或支鏈的C_1-20烷基、直鏈或支鏈的C_1-20鹵代烷基、單環或多環的C_3-20環烷基、單環或多環的C_3-20雜環烷基、單環或多環的C_6-20芳基、C_7-20芳氧基烷基、或單環或多環的C_4-20雜芳基，其中的每一個是取代或未取代的，前提是R²和R³不一起形成環，

R⁴是取代或未取代的C_1-12烷基、取代或未取代的C_7-18芳基烷基、取代或未取代的C_4-18雜芳基烷基、或取代或未取代的C_1-12鹵代烷基，

R⁵是氫、氟、取代或未取代的C_1-5烷基、或取代或未取代的C_1-5氟烷基，

每個A獨立地是鹵素、羧酸或酯、硫醇、直鏈或支鏈的C_1-20烷基、單環或多環的C_3-20環烷基、單環或多環的C_3-20氟環烯基、單環或多環的C_3-20雜環烷基、單環或多環的C_6-20芳基、或單環或多環的C_4-20雜芳基，其中的每一個是取代或未取代的，并且

m是0至4的整數。

2.如權利要求1所述的聚合物，其中，所述第二重復單元具有式(1a)：

其中

R¹是氫、取代或未取代的C_1-12烷基、取代或未取代的C_6-14芳基、取代或未取代的C_7-18芳基烷基、或取代或未取代的C_1-12鹵代烷基，

R²和R³各自獨立地是直鏈或支鏈的C_1-20烷基、直鏈或支鏈的C_1-20鹵代烷基、單環或多環的C_3-20環烷基、單環或多環的C_3-20雜環烷基、單環或多環的C_6-20芳基、C_7-20芳氧基烷基、或單環或多環的C_4-20雜芳基，其中的每一個是取代或未取代的，前提是R²和R³不一起形成環，

R⁴是取代或未取代的C_1-12烷基、取代或未取代的C_7-18芳基烷基、取代或未取代的C_4-18雜芳基烷基、或取代或未取代的C_1-12鹵代烷基，

R⁵是氫、氟、取代或未取代的C_1-5烷基、或取代或未取代的C_1-5氟烷基，

每個A獨立地是鹵素、羧酸或酯、硫醇、直鏈或支鏈的C_1-20烷基、單環或多環的C_3-20環烷基、單環或多環的C_3-20氟環烯基、單環或多環的C_3-20雜環烷基、單環或多環的C_6-20芳基、或單環或多環的C_4-20雜芳基，其中的每一個是取代或未取代的，并且

m是0至4的整數。