[發(fā)明專利]一種可用于原位軟X射線吸收譜學(xué)實(shí)驗(yàn)的真空系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010972924.3 | 申請日： | 2020-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN112083020B | 公開（公告）日： | 2021-10-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李鑫;馮雪飛;梁立軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) |
| 主分類號： | G01N23/083 | 分類號： | G01N23/083 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王歡 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 原位 射線 吸收 實(shí)驗(yàn) 真空 系統(tǒng) | ||
1.一種可用于原位軟X射線吸收譜學(xué)實(shí)驗(yàn)的真空系統(tǒng)，其特征在于，包括由光源入射至出射方向通過真空管道依次連接的二級差抽組件(E)、光闌組件(D)、金網(wǎng)光孔組件(C)、一級差抽組件(B)和實(shí)驗(yàn)站(A)；
所述金網(wǎng)光孔組件(C)包括：
反射鏡(C-10)，所述反射鏡(C-10)設(shè)有中部設(shè)有通孔的斜切面，所述斜切面與實(shí)驗(yàn)站(A)上觀測口的視窗正對；
及光孔板體(C-11)，所述光孔板體(C-11)中部設(shè)有光孔，所述光孔的直徑為2mm-6mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可用于原位軟X射線吸收譜學(xué)實(shí)驗(yàn)的真空系統(tǒng)，其特征在于，所述實(shí)驗(yàn)站(A)包括：
用于安裝原位實(shí)驗(yàn)裝置的XY移動平臺(A-1)，所述XY移動平臺(A-1)的安裝口能夠沿垂直于地面和平行于地面方向調(diào)節(jié)，所述XY移動平臺(A-1)的安裝口正對X射線光源；
用于安裝探測器以及其原位實(shí)驗(yàn)裝置相關(guān)的設(shè)備的真空腔體組件(A-2)，所述真空腔體組件(A-2)包括：
與所述XY移動平臺(A-1)連接的真空腔體外殼；
安裝于所述真空腔體外殼上的快閥傳感器(A-2-10)，所述快閥傳感器(A-2-10)探測所述真空腔體外殼腔體內(nèi)真空度；
所述二級差抽組件(E)包括用于關(guān)閉和連通所述二級差抽組件(E)前端光學(xué)器件所在真空腔體和所述二級差抽組件(E)之間真空管道的真空快閥(E-1)，所述真空快閥(E-1)與所述快閥傳感器(A-2-10)連接，所述實(shí)驗(yàn)站(A)正常運(yùn)行時(shí)，真空快閥(E-1)處于打開狀態(tài)，使X射線入射到實(shí)驗(yàn)站(A)；當(dāng)所述快閥傳感器(A-2-10)探測到真空腔體內(nèi)氣壓高于設(shè)定值或是人為關(guān)閉時(shí)，所述真空快閥(E-1)在40ms之內(nèi)關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可用于原位軟X射線吸收譜學(xué)實(shí)驗(yàn)的真空系統(tǒng)，其特征在于，所述實(shí)驗(yàn)站(A)還包括安裝在所述真空腔體外殼上的第一真空規(guī)管(A-2-11)，所述第一真空規(guī)管(A-2-11)用于讀取真空腔體外殼腔體中的真空度；
所述一級差抽組件(B)包括：
第一三通連接管道(B-1)，所述第一三通連接管道(B-1)的第一接口與所述真空腔體外殼連接；
用于關(guān)閉和連通所述一級差抽組件(B)和所述金網(wǎng)光孔組件(C)之間真空管道的第一氣動閘板閥(B-2)，所述第一氣動閘板閥(B-2)與所述第一三通連接管道(B-1)的第二接口連接；
第二氣動閘板閥(B-3)，所述第二氣動閘板閥(B-3)與所述第一三通連接管道(B-1)的第三接口連接；
第一渦輪分子泵(B-4)，所述第二氣動閘板閥(B-3)用于關(guān)閉和連通所述第一三通連接管道(B-1)和所述第一渦輪分子泵(B-4)之間的真空管道；
所述二級差抽組件(E)還包括：
第二三通連接管道(E-2)，所述第二三通連接管道(E-2)的第一接口與所述光闌組件(D)連接，所述第二三通連接管道(E-2)的第二接口與真空快閥(E-1)連接；
第三氣動閘板閥(E-3)，所述第二三通連接管道(E-2)的第三接口與所述第三氣動閘板閥(E-3)連接；
第二渦輪分子泵(E-4)，所述第三氣動閘板閥(E-3)用于關(guān)閉和連通第二三通連接管道(E-2)和所述第二渦輪分子泵(E-4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可用于原位軟X射線吸收譜學(xué)實(shí)驗(yàn)的真空系統(tǒng)，其特征在于，所述一級差抽組件(B)的抽氣管道和所述二級差抽組件(E)的抽氣管道的內(nèi)徑均為45mm-55mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可用于原位軟X射線吸收譜學(xué)實(shí)驗(yàn)的真空系統(tǒng)，其特征在于，所述實(shí)驗(yàn)站(A)還包括：
第四氣動閘板閥(A-2-12)，當(dāng)真空腔體外殼內(nèi)部腔體需要輔泵抽真空時(shí)打開，加快抽氣過程；
第三渦輪分子泵(A-2-13)，第四氣動閘板閥(A-2-12)用于隔開或連通所述第三渦輪分子泵(A-2-13)和所述真空腔體外殼內(nèi)部腔體。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)，未經(jīng)中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010972924.3/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
