[發(fā)明專利]一種具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010971425.2
• 申請(qǐng)日: 2020-09-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112122065A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 平克宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京利碩斯機(jī)電設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C11/10;H01L21/67;B05B15/50;B01D19/02
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• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，包括箱體（1）和點(diǎn)膠管（2），所述箱體（1）的形狀為長(zhǎng)方體，所述點(diǎn)膠管（2）豎向設(shè)置在箱體（1）的下方，所述點(diǎn)膠管（2）上設(shè)有執(zhí)行裝置，其特征在于，所述箱體（1）內(nèi)使用除泡機(jī)構(gòu)和輔助機(jī)構(gòu)；

所述除泡機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）、固定管（4）、螺桿（5）、傳動(dòng)軸（6）和兩個(gè)除泡組件，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）設(shè)置在箱體（1）的上方且與箱體（1）固定連接，所述固定管（4）與點(diǎn)膠管（2）同軸設(shè)置，所述固定管（4）位于箱體（1）內(nèi)且與箱體（1）的內(nèi)壁固定連接，所述箱體（1）內(nèi)的底部和箱體（1）內(nèi)的頂部均與固定管（4）之間設(shè)有間隙，所述傳動(dòng)軸（6）和螺桿（5）均與固定管（4）同軸設(shè)置，所述螺桿（5）設(shè)置在固定管（4）內(nèi)切與固定管（4）匹配，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）與傳動(dòng)軸（6）的頂端傳動(dòng)連接，所述傳動(dòng)軸（6）固定在螺桿（5）的底端且位于固定管（4）的下方，所述除泡組件以傳動(dòng)軸（6）的軸線為中心周向均勻分布在傳動(dòng)軸（6）上；

所述除泡組件包括連接桿（7）、連接塊（8）、扭轉(zhuǎn)彈簧（9）、敲擊桿（10）和固定塊（11），所述固定塊（11）固定在箱體（1）內(nèi)的底部，所述連接桿（7）的軸線與傳動(dòng)軸（6）的軸線垂直且相交，所述連接桿（7）位于固定塊（11）的上方，所述連接桿（7）的一端固定在傳動(dòng)軸（6）上，所述連接塊（8）固定在連接桿（7）的另一端，所述敲擊桿（10）與傳動(dòng)軸（6）平行，所述敲擊桿（10）上使用通孔，所述連接桿（7）穿過(guò)通孔且與通孔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述敲擊桿（10）分別于連接塊（8）和固定塊（11）抵靠，所述扭轉(zhuǎn)彈簧（9）位于敲擊桿（10）和傳動(dòng)軸（6）之間，所述敲擊桿（10）通過(guò)扭轉(zhuǎn)彈簧（9）與傳動(dòng)軸（6）連接；

所述輔助機(jī)構(gòu)包括連接管（12）、密封環(huán)（13）、轉(zhuǎn)動(dòng)桿（14）、固定錐齒輪（15）、篩網(wǎng)（16）和兩個(gè)輔助組件，所述連接管（12）和密封環(huán)（13）均與點(diǎn)膠管（2）同軸設(shè)置，所述箱體（1）的底部設(shè)有圓孔，所述連接管（12）的頂端插入圓孔內(nèi)，所述連接管（12）與圓孔的內(nèi)壁密封且固定連接，所述密封環(huán)（13）與連接管（12）的底端密封且固定連接，所述點(diǎn)膠管（2）的頂端插入密封環(huán)（13）的環(huán)孔，所述點(diǎn)膠管（2）與密封環(huán)（13）環(huán)孔的內(nèi)壁密封且固定連接，所述篩網(wǎng)（16）安裝在連接管（12）內(nèi)切位于傳動(dòng)軸（6）和點(diǎn)膠管（2）之間，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（14）位于傳動(dòng)軸（6）和篩網(wǎng)（16）之間且與連接桿（7）平行，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（14）的中端固定在傳動(dòng)軸（6）的底端，所述傳動(dòng)軸（6）穿過(guò)固定錐齒輪（15）且與固定錐齒輪（15）之間設(shè)有間隙，所述固定錐齒輪（15）與箱體（1）的內(nèi)壁固定連接，所述輔助組件與連接桿（7）一一對(duì)應(yīng)；

所述輔助組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)錐齒輪（17）、軸承（18）和輔助管（19），所述輔助管（19）與轉(zhuǎn)動(dòng)桿（14）同軸設(shè)置，所述軸承（18）的外圈安裝在輔助管（19）的內(nèi)壁上，所述軸承（18）的內(nèi)圈安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)桿（14）上，所述輔助管（19）與篩網(wǎng)（16）抵靠。

2.如權(quán)利要求1所述的具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）為伺服電機(jī)。

3.如權(quán)利要求1所述的具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，其特征在于，所述連接桿（7）的兩端均設(shè)有倒角。

4.如權(quán)利要求1所述的具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，其特征在于，所述箱體（1）上設(shè)有防腐鍍鋅層。

5.如權(quán)利要求1所述的具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，其特征在于，所述箱體（1）的頂部設(shè)有兩個(gè)光伏板（20），所述光伏板（20）與連接桿（7）一一對(duì)應(yīng)。

6.如權(quán)利要求1所述的具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，其特征在于，所述箱體（1）兩側(cè)均設(shè)有吸音板（21）。

7.如權(quán)利要求1所述的具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，其特征在于，所述箱體（1）上設(shè)有天線和PLC，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）和天線均與PLC電連接。

8.如權(quán)利要求1所述的具有除泡功能的集成電路制作設(shè)備，其特征在于，所述輔助管（19）的外壁設(shè)有防滑紋。