[發(fā)明專利]暗場(chǎng)檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010970259.4
• 申請(qǐng)日: 2020-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN112098421B
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李運(yùn)鋒;李潤(rùn)芝;王婷婷;于大維
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：

照明模塊，用于提供光源；

光路整形模塊，包括用于在晶片上形成重疊的線形照明光斑的多個(gè)分支光路；每一所述分支光路均用于以一定的入射角度照射所述晶片，所述多個(gè)分支光路形成環(huán)形照射；每一所述分支光路均包括勻光結(jié)構(gòu)和臨界照明結(jié)構(gòu)，所述光源提供的照射光依次經(jīng)所述勻光結(jié)構(gòu)和臨界照明結(jié)構(gòu)照射至所述晶片上；

物鏡，用于收集來自所述晶片的散射光；以及

成像傳感器，用于接收所述物鏡輸出的信號(hào)光；

所述勻光結(jié)構(gòu)為反射式勻光腔結(jié)構(gòu)，所述勻光結(jié)構(gòu)包括入射光端面、勻光腔體和出射光端面，所述勻光結(jié)構(gòu)的勻光腔體包括四個(gè)反射面，所述勻光腔體由所述四個(gè)反射面圍成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述入射角度為60°～85°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述勻光結(jié)構(gòu)的出射光端面為平行四邊形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述照明模塊包括：

光源；以及

用于接收所述光源的光導(dǎo)，所述光導(dǎo)的輸出端包括多個(gè)分端端口，每一所述分端端口均用于向與其對(duì)應(yīng)設(shè)置的分支光路提供照射光。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述分端端口的出光端面為長(zhǎng)方形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述勻光結(jié)構(gòu)的出射光端面與所述勻光結(jié)構(gòu)的出射光軸之間相垂直或具有大于0°且小于90°的夾角。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述臨界照明結(jié)構(gòu)為遠(yuǎn)心照明。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的暗場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述分支光路的個(gè)數(shù)為6個(gè)、8個(gè)、12個(gè)或16個(gè)。