[發(fā)明專利]硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010969058.2
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN111979577A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 逯占文;曹玉寶;李方;李占賢
• 申請（專利權(quán)）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B29/06
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 21212
• 代理人: 李洪福

1.一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，包括豎直穿入所述真空爐室內(nèi)的單晶體承重外硬軸，其特征在于：所述單晶體承重外硬軸的底部安裝有用于夾持單晶體的小肩部單晶體卡爪，且所述單晶體承重外硬軸的頂部具有驅(qū)動所述單晶體卡爪夾緊所述單晶體或松開所述單晶體的卡爪驅(qū)動裝置；

所述單晶體卡爪包括四個卡爪，四個所述卡爪圍繞所述單晶體承重外硬軸的軸線均勻分布，且四個卡爪的中部與所述單晶體承重外硬軸的外壁鉸接，所述單晶體承重外硬軸的底部在所述卡爪的上部所在處加工有開口，所述卡爪的底部具有卡持部；

所述卡爪驅(qū)動裝置包括設(shè)置在所述單晶體承重外硬軸頂部的卷絲輪箱體，所述卷絲輪箱體內(nèi)設(shè)有與所述卷絲輪箱體轉(zhuǎn)動連接的四個卷絲軸，所述卷絲軸的軸線垂直于所述單晶體承重外硬軸的軸線，所述卷絲軸上固定有卷絲輪；每個所述卷絲輪均連接有驅(qū)動所述卷絲軸轉(zhuǎn)動的卷絲軸驅(qū)動機構(gòu)，且所述卷絲軸驅(qū)動機構(gòu)設(shè)置在所述卷絲輪箱體外，所述卷絲輪與鎢絲繩的一端固定連接，所述鎢絲繩的另一端穿過豎直加工在所述單晶體承重外硬軸內(nèi)的鎢絲繩過孔后與所述卡爪的上部固定連接；

所述鎢絲繩過孔的底部加工有彈簧容納腔，且所述彈簧容納腔內(nèi)設(shè)有套在所述鎢絲繩外的預(yù)緊彈簧，所述預(yù)緊彈簧的頂部與所述彈簧容納腔的頂部相抵，所述預(yù)緊彈簧的底部與所述卡爪的頂部相抵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，所述卷絲輪箱體的頂部固定有稱重罩體，所述稱重罩體的內(nèi)部頂端安裝有稱重傳感器，且所述稱重傳感器的底部連接有安裝在所述稱重罩體內(nèi)的稱重定滑輪，且所述稱重定滑輪設(shè)置在四個所述卷絲輪中一個卷絲輪的正上方，且此卷絲輪連接的鎢絲繩經(jīng)過所述稱重定滑輪后進入所述鎢絲繩過孔，之后與所述卡爪的上部固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，所述卷絲輪箱體和所述稱重罩體內(nèi)均設(shè)有用于鎢絲繩限位的鎢絲繩限位塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，四個所述卡持部向所述單晶體承重外硬軸的軸心延伸，且所述卡持部的頂面具有錐面，且所述錐面與所述單晶體頂部的小肩部底部錐面相匹配。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，所述卷絲輪箱體具有觀察窗口，所述觀察窗口處具有視窗玻璃。

6.一種硬軸重載硅單晶提拉裝置，其特征在于，包括：

支撐結(jié)構(gòu)，豎直固定在真空爐室頂部；

如權(quán)利要求1～5任意權(quán)利要求所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，且所述一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置設(shè)置在所述支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)；

花鍵槽，加工在所述單晶體承重外硬軸內(nèi)，且豎直延伸；

籽晶承重內(nèi)硬軸，豎直設(shè)置在所述單晶體承重外硬軸內(nèi)，所述籽晶承重內(nèi)硬軸的外壁具有與所述花鍵槽配合的花鍵；

籽晶卡頭，與所述籽晶承重內(nèi)硬軸底部固定連接，用于固定所述單晶體頂部的籽晶；

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，安裝在所述支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)，且位于所述單晶體承重外硬軸的上方，用于驅(qū)動所述單晶體承重外硬軸轉(zhuǎn)動；

外硬軸升降裝置，安裝在所述支撐結(jié)構(gòu)頂部，用于驅(qū)動所述單晶體承重外硬軸升降；

內(nèi)硬軸升降裝置，安裝在所述支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)，用于驅(qū)動所述籽晶承重內(nèi)硬軸升降。