[發明專利]從ITO廢靶中提純銦的提純裝置

在審

• 申請號: 202010967577.5
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN111979419A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 崔恒;丁金鐸;葛春橋;柳春錫;金志洸;王夢涵
• 申請（專利權）人: 中山智隆新材料科技有限公司
• 主分類號: C22B7/00
• 分類號: C22B7/00;C22B58/00
• 代理公司: 廣東科信啟帆知識產權代理事務所(普通合伙) 44710
• 代理人: 吳少東

1.一種從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，包括一提供提純反應場所的真空爐(5)，該真空爐(5)具有倉門(8)，N₂氣瓶(1)與真空泵(11)分別通過設有球閥開關的管道與真空爐(5)連接，所述的真空爐(5)內設置有用于給銦錫合金加熱的加熱裝置(7)，在真空爐(5)頂部設置有銦金屬回收靶(6)，還包括一個用于冷卻銦金屬回收靶(6)的冷卻裝置(4)以及在所述真空泵(11)與真空爐(5)連接的管道上設置有真空度表(9)。

2.根據權利要求1所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的加熱裝置(7)為電加熱棒或加熱絲。

3.根據權利要求1或2所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的銦金屬回收靶(6)為銦金屬板。

4.根據權利要求1所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的冷卻裝置(4)為水循環冷卻裝置、半導體制冷裝置或壓縮機冷卻裝置。

5.根據權利要求1所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的銦金屬回收靶(6)內部具有空腔，冷卻裝置(4)布置在該空腔的內部。

6.根據權利要求1所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的真空泵(11)的功率≥2KW，所能達到的極限真空度為5×10^^-2pa。

7.根據權利要求1所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的真空爐(5)內的真空度在2～20pa時關閉球閥開關，且在升華過程中保持真空度高于20～100pa。

8.根據權利要求1所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的真空爐(5)加熱的速率為0.5～10℃/min,加熱的溫度為50-150℃，保溫的時間為0.5-3h。

9.根據權利要求3所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的銦金屬板的外圓直徑為40～60mm、內圓直徑為36～56mm，高度為300～400mm。

10.根據權利要求4所述從ITO廢靶中提純銦的提純裝置，其特征在于，所述的水循環冷卻中水管中水流動速率為1～5m/s，水流溫度為5～20℃。