[發明專利]雙激光頭開窗方法及裝置在審
| 申請號： | 202010967385.4 | 申請日： | 2020-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN112045323A | 公開（公告）日： | 2020-12-08 |
| 發明（設計）人： | 雷志輝;續振林;趙曉杰;李毅峰;秦國雙;鐘石蘭 | 申請（專利權）人： | 英諾激光科技股份有限公司;廈門柔性電子研究院有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/38 | 分類號： | B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳市精英專利事務所 44242 | 代理人： | 馮筠 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區科技*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光頭 開窗 方法 裝置 | ||
1.雙激光頭開窗方法，其特征在于，包括：
采用紫外皮秒激光切割開窗的輪廓，以得到沒有碳化的輪廓；
采用CO2激光對沒有碳化的輪廓內的開窗區域去除材料，以對沒有碳化的輪廓內的開窗區域進行開窗。
2.根據權利要求1所述的雙激光頭開窗方法，其特征在于，所述采用紫外皮秒激光切割開窗的輪廓，以得到沒有碳化的輪廓，包括：
采用紫外皮秒激光器發射出紫外皮秒激光切割開窗的輪廓，以得到沒有碳化的輪廓。
3.根據權利要求1所述的雙激光頭開窗方法，其特征在于，所述采用CO2激光對沒有碳化的輪廓內的開窗區域去除材料，以對沒有碳化的輪廓內的開窗區域進行開窗，包括：
采用CO2激光器發射CO2激光對沒有碳化的輪廓內的開窗區域去除材料，以對沒有碳化的輪廓內的開窗區域進行開窗。
4.根據權利要求3所述的雙激光頭開窗方法，其特征在于，開窗的最小尺寸小于0.1mm。
5.根據權利要求4所述的雙激光頭開窗方法，其特征在于，開窗的精度小于±10μm。
6.雙激光頭開窗裝置，其特征在于，包括CO2激光器、紫外皮秒激光器以及光學器件，所述CO2激光器以及所述紫外皮秒激光器分別與所述光學器件連接，所述光學器件的下方設有工作平臺。
7.根據權利要求6所述的雙激光頭開窗裝置，其特征在于，還包括工控機，所述工控機分別與所述CO2激光器、所述紫外皮秒激光器以及工作平臺連接。
8.根據權利要求7所述的雙激光頭開窗裝置，其特征在于，所述光學器件包括至少一個反射鏡、至少一個擴束鏡、至少一個振鏡以及至少一個透鏡，所述擴束鏡分別與所述CO2激光器以及所述紫外皮秒激光器連接，所述擴束鏡以及所述振鏡分別與所述反射鏡連接，所述振鏡的下方連接有所述透鏡。
9.根據權利要求8所述的雙激光頭開窗裝置，其特征在于，所述工作平臺位于所述透鏡的下方。
10.根據權利要求9所述的雙激光頭開窗裝置，其特征在于，所述振鏡位于所述反射鏡的下方。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于英諾激光科技股份有限公司;廈門柔性電子研究院有限公司，未經英諾激光科技股份有限公司;廈門柔性電子研究院有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010967385.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
