[發明專利]一種用于碲鎘汞薄膜材料的石墨舟和生長系統

有效

• 申請號: 202010966462.4
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN112064119B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 北京智創芯源科技有限公司
• 主分類號: C30B29/48
• 分類號: C30B29/48;C30B19/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱英靜

1.一種用于碲鎘汞薄膜材料的石墨舟，其特征在于，包括：

具有至少兩組水平液相外延組件(10)的生長部件(100)，所述水平液相外延組件(10)逐層設置，每組所述水平液相外延組件(10)均能夠用于生長至少一片碲鎘汞薄膜材料，并且相鄰層間的所述水平液相外延組件(10)相互連通；

設置于所述生長部件(100)的下方的底座(300)；

設置于所述生長部件(100)的上方的蓋板(200)；

所述水平液相外延組件(10)的數量為兩個，分別為第一水平液相外延組件(101)和第二水平液相外延組件(102)，所述蓋板(200)、所述第一水平液相外延組件(101)、所述第二水平液相外延組件(102)和所述底座(300)依次逐層設置并且可拆卸連接在一起；

所述第一水平液相外延組件(101)包括第一母液槽(1011)和與所述第一母液槽(1011)配合的第一滑條(1012)，所述第一滑條(1012)能夠沿所述第一母液槽(1011)的長度方向滑動，并且所述第一水平液相外延組件(101)和所述第二水平液相外延組件(102)的結構相同；

所述第一母液槽(1011)上至少設有一個第一母液滯留槽(1011-b)，所述第一滑條(1012)上至少設有一個第一襯底槽(1012-c)，當所述第一滑條(1012)滑動至預設位置時，每個所述第一襯底槽(1012-c)均能夠與相應的所述第一母液滯留槽(1011-b)對中；

所述第一母液槽(1011)上還設有與所述第一母液滯留槽(1011-b)對應的第一碲化汞槽(1011-c)，并且所述第一碲化汞槽(1011-c)與所述第一母液滯留槽(1011-b)之間設有第一引流槽(1011-d)；

相鄰的所述第一母液滯留槽(1011-b)之間、相鄰的所述第一碲化汞槽(1011-c)之間和相鄰的所述第一母液滯留槽(1011-b)與所述第一碲化汞槽(1011-c)之間設有第二引流槽(1011-e)。

2.根據權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一母液槽(1011)上至少設有一個第一引流孔(1011-a)。

3.根據權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一滑條(1012)上至少設有一個第二引流孔(1012-a)。

4.根據權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一滑條(1012)上設有第一連接部(1012-b)，所述第二水平液相外延組件(102)包括第二滑條(1022)，所述第二滑條(1022)設有第二連接部(1022-a)，所述第一連接部(1012-b)和所述第二連接部(1022-a)可拆卸連接。

5.根據權利要求4所述的石墨舟，其特征在于，所述第一連接部(1012-b)和所述第二連接部(1022-a)之間通過連桿(400)連接。

6.根據權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一母液槽(1011)包括第一底板(1011-f)和設于所述第一底板(1011-f)的兩側的第一側壁(1011-g)，所述第一側壁(1011-g)設置于所述第二母液槽(1021)上，所述第一側壁(1011-g)、所述第一底板(1011-f)和所述第二母液槽(1021)構成用于容納所述第一滑條(1012)的第一腔體；所述第二水平液相外延組件(102)包括第二母液槽(1021)，所述第二母液槽(1021)包括第二底板(1021-a)和設于所述第二底板(1021-a)的兩側的第二側壁(1021-b)，所述第二底板(1021-a)與所述第一側壁(1011-g)連接，所述第二側壁(1021-b)設置于所述底座(300)上，并且所述第二側壁(1021-b)、所述第二底板(1021-a)和所述底座(300)構成用于容納所述第二滑條(1022)的第二腔體。

7.一種用于碲鎘汞薄膜材料的生長系統，其特征在于，包括如權利要求1至6任一項所述的石墨舟。