[發(fā)明專利]一種鎳碳泡沫制備3D網(wǎng)狀碳化硅納米線的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010963657.3 | 申請(qǐng)日： | 2020-09-15 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN112144039A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-12-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馮濤;侯萬(wàn)波;童明德;林紅嬌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西北工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C23C16/32 | 分類號(hào)： | C23C16/32;C23C16/02;B82Y40/00;C01B32/977 |
| 代理公司： | 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 61204 | 代理人： | 王鮮凱 |
| 地址： | 710072 *** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 泡沫 制備 網(wǎng)狀 碳化硅 納米 方法 | ||
1.一種鎳碳泡沫制備3D網(wǎng)狀碳化硅納米線的方法，其特征在于步驟如下：
步驟1：將塊狀鎳碳泡沫用碳繩將其懸掛于立式化學(xué)氣相沉積爐中進(jìn)行熱處理，以6-10℃/min的升溫速度將化學(xué)氣相沉積爐升溫至1150-1250℃，以300-500ml/min的流量向爐膛中通入氬氣，常壓下保溫7h，隨后自然降溫得到鎳碳泡沫；
所述塊狀鎳碳泡沫中鎳與碳體積比為6:4，泡沫結(jié)構(gòu)為3D網(wǎng)狀；
步驟2：將鎳碳泡沫采用碳繩懸掛于立式化學(xué)氣相沉積爐中，通電升溫，以6-10℃/min的升溫速度將化學(xué)氣相沉積爐升溫至1150-1250℃，以300-500ml/min的流量向爐膛中通入氬氣，以1500-2500ml/min的流量向爐膛中通入氫氣，以0.1-0.3g/min的流量向爐膛中通入三氯甲基硅烷，真空度保持10-20kPa，并在該溫度下保持6-8h，隨后關(guān)閉程序自然降溫得到沉積有3D網(wǎng)狀碳化硅納米線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鎳碳泡沫制備3D網(wǎng)狀碳化硅納米線的方法，其特征在于：所述塊狀鎳碳泡沫的孔隙率為80-90％。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的
