[發明專利]一種能提高過氧化氫系蝕刻液使用壽命的補充液有效
| 申請號： | 202010956024.X | 申請日： | 2020-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN112064032B | 公開（公告）日： | 2022-04-01 |
| 發明（設計）人： | 鄒玲;詹洪;郭文勇;羅曉鋒;陸飚 | 申請（專利權）人： | 武漢迪賽新材料有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/46 | 分類號： | C23F1/46;C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 武漢宇晨專利事務所(普通合伙) 42001 | 代理人： | 余曉雪 |
| 地址： | 436070 湖北省鄂州*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 過氧化氫 蝕刻 使用壽命 補充 | ||
【權利要求書】：
1.一種補充液組合物在提高過氧化氫系蝕刻液使用壽命中的應用：在接近失效的過氧化氫系蝕刻液中添加所述的補充液組合物，添加量為所述接近失效的過氧化氫系蝕刻液總重量的2%~25%；
所述補充液組合物由過硫酸銨、螯合劑、調節劑、多功能添加劑以及超純水組成；
所述組合物中各組分相對于組合物整體的重量百分比分別為過硫酸銨4~20%、螯合劑8~30%、調節劑4~20%、多功能添加劑2~10%以及使組合物整體達到100%的超純水；
所述螯合劑和調節劑的總重量與多功能添加劑的重量之比為10:1~2:1；
所述螯合劑為含有N原子的有機膦酸；
所述調節劑為膦酰基丁烷三羧酸；
所述多功能添加劑為亞氨基二琥珀酸四鈉。
2.根據權利要求1所述的應用，其特征在于：所述螯合劑選自氨基三甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、己二胺四甲叉膦酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、二己烯三胺五甲叉膦酸和多氨基多醚基甲叉膦酸中的至少一種。
3.根據權利要求2所述的應用，其特征在于：所述螯合劑為二乙烯三胺五甲叉膦酸和/或二己烯三胺五甲叉膦酸。
4.權利要求1-3中任一所述的應用：在接近失效的過氧化氫系蝕刻液中添加所述的補充液組合物，添加量為所述接近失效的過氧化氫系蝕刻液總重量的5%~20%。
5.根據權利要求4所述的應用，其特征在于：所述接近失效的過氧化氫系蝕刻液指其中銅離子濃度不低于6000ppm。
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