[發(fā)明專利]一種砷摻雜三氧化二錳靶材及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010953109.2
• 申請(qǐng)日: 2020-09-11
• 公開（公告）號(hào): CN112195446B
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 文崇斌;朱劉;童培云;吳彩紅;曾成亮;余芳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C22C29/12;C22C1/05
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種砷摻雜三氧化二錳靶材及其制備方法，其特征在于，所述制備方法包括以下步驟：

（1）將AsMn粉末和Mn₂O₃粉末混合均勻，得到混合料；

（2）將步驟（1）得到的混合料裝入一包套中，將其放入熱等靜壓爐進(jìn)行燒結(jié)，隨后降溫出爐，即得到砷摻雜三氧化二錳靶材。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，AsMn粉末和Mn₂O₃粉末的質(zhì)量比為3～5%:95～97%。

3.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，AsMn粉末的粒度為-70目；Mn₂O₃粉末的粒度為-100目。

4.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，混合操作為裝入混料機(jī)中進(jìn)行混合。

5.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟（2）中，裝入包套后還包括以下步驟：將包套抽真空焊接密封。

6.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟（2）中，燒結(jié)工藝為先將爐體抽真空至絕對(duì)真空度低于10Pa，然后升溫到600～650℃，保溫30min，隨后開始加壓，壓力達(dá)到75～80MPa后，繼續(xù)保溫30min～50min，最后升溫至750～800℃，保溫60-70min。

7.如權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，升溫至600～650℃的升溫速率為6~8℃/min，升溫至750～800℃的升溫速率為2~3℃/min。

8.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟（2）中，降溫出爐操作為隨爐降溫至小于300℃時(shí)開始泄壓，降溫到室溫后，出爐。

9.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，還包括步驟（3），將步驟（2）所得的砷摻雜三氧化二錳靶材進(jìn)行機(jī)械加工、研磨及拋光處理。

10.一種砷摻雜三氧化二錳靶材，其特征在于，該靶材采用權(quán)利要求1-9任一所述的砷摻雜三氧化二錳靶材的制備方法制備得到。