[發(fā)明專利]微機(jī)電陀螺儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010947885.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-10
• 公開（公告）號(hào): CN112556675B
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李世偉;王照勛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昇佳電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G01C19/02
• 分類號(hào): G01C19/02
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明是有關(guān)一種微機(jī)電陀螺儀，其包含多個(gè)感測(cè)模塊感測(cè)三軸向的角速度，多個(gè)外框設(shè)置于該些感測(cè)模塊的外側(cè)，多個(gè)驅(qū)動(dòng)軸分別設(shè)置于該些外框之間，該些驅(qū)動(dòng)軸分別以一第一可撓性連接件與一第二可撓性連接件連接二相鄰?fù)饪颍儆稍撔┩饪蚪?jīng)多個(gè)傳動(dòng)元件連接該些感測(cè)模塊，藉此提供三軸感測(cè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)一種傳感器，尤其是一種微機(jī)電陀螺儀，其提供三軸角速度測(cè)定功能。

背景技術(shù)

微機(jī)電(Microelectromechanical Systems,MEMS)陀螺儀通常用于測(cè)定一系統(tǒng)于x-y-z坐標(biāo)軸中每一軸在線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，其中當(dāng)一質(zhì)量塊沿著一軸向線性運(yùn)動(dòng)并且該承受一角速度時(shí)，該質(zhì)量塊得以感應(yīng)到一科氏力(Coriolis Force)。該力驅(qū)使質(zhì)量塊在與該軸向垂直的方向上產(chǎn)生位移，進(jìn)而供感測(cè)該質(zhì)量塊承受的角度速值。然而，該質(zhì)量塊無法感測(cè)與該軸向平行的旋轉(zhuǎn)，因此如果要感測(cè)三軸角速度，至少必須提供二組沿不同方向運(yùn)動(dòng)的質(zhì)量塊，然而如何在微小的微機(jī)電構(gòu)造中穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊沿不同方向運(yùn)動(dòng)，又能將微機(jī)電陀螺儀的成本控制在合理范圍，同時(shí)還要避免噪聲、非理想訊號(hào)影響感測(cè)結(jié)果，成為各家廠商亟欲解決的問題。

基于上述的問題，本發(fā)明提供一種微機(jī)電陀螺儀，其藉由外框耦合微機(jī)電陀螺儀所承受的外力，進(jìn)而提高三軸測(cè)定的精確度，解決上述的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一目的，在于提供一種微機(jī)電陀螺儀，其藉由多個(gè)驅(qū)動(dòng)軸設(shè)置于多個(gè)外框之間，該些驅(qū)動(dòng)軸透過可撓性連接件連接所有外框，并由該些外框經(jīng)多個(gè)傳動(dòng)件連接多個(gè)感測(cè)模塊，故，所有外框經(jīng)該些驅(qū)動(dòng)軸所連接的可撓性連接件耦合，以耦合該些驅(qū)動(dòng)軸所提供的外力。

本發(fā)明揭示了一種微機(jī)電陀螺儀，其包含多個(gè)感測(cè)模塊，感測(cè)三軸向的角速度；多個(gè)外框設(shè)置于該些感測(cè)模塊的外側(cè)，經(jīng)多個(gè)傳動(dòng)元件連接該些感測(cè)模塊；以及多個(gè)驅(qū)動(dòng)軸分別設(shè)置該些外框之間，該些驅(qū)動(dòng)軸分別經(jīng)一第一可撓性連接件與一第二可撓性連接件連接該些外框的二相鄰?fù)饪颉＝宕耍型饪蛑g分別經(jīng)該第一可撓性連接件與該第二可撓性連接件而耦合該些驅(qū)動(dòng)軸所提供的外力，進(jìn)而提高三軸測(cè)定的精確度。

附圖說明

圖1：其為本發(fā)明的微機(jī)電陀螺儀的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2：其為本發(fā)明的微機(jī)電陀螺儀的一實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)示意圖；

圖3：其為本發(fā)明的微機(jī)電陀螺儀的另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4：其為本發(fā)明的微機(jī)電陀螺儀的另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5：其為本發(fā)明的微機(jī)電陀螺儀的另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6：其為本發(fā)明的微機(jī)電陀螺儀的另一實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)示意圖；以及

圖7：其為本發(fā)明的微機(jī)電陀螺儀的另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

【圖號(hào)對(duì)照說明】

1微機(jī)電陀螺儀

2微機(jī)電陀螺儀

10感測(cè)模塊

10A第一感測(cè)模塊

10B第二感測(cè)模塊

12驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)

14質(zhì)量塊

142可撓性連接件

16第一感測(cè)元件

16A第一感測(cè)元件

16B第一感測(cè)元件

18第二感測(cè)元件

18A第二感測(cè)元件

18B第二感測(cè)元件

20外框