[發明專利]抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法及應用

有效

• 申請號: 202010945223.0
• 申請日: 2020-09-10
• 公開（公告）號: CN112159962B
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 黃秋實;王占山;張哲;齊潤澤;張眾
• 申請（專利權）人: 同濟大學
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14;C23C28/00;C23C28/02
• 代理公司: 上?？剖⒅R產權代理有限公司 31225
• 代理人: 翁惠瑜

1.一種抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

在基底上鍍制極紫外多層膜；

保持極紫外多層膜的真空環境不變，進行鎂靶材和鋁靶材的預濺射；

將鍍制有所述極紫外多層膜的基底重復交替運動到鎂靶材和鋁靶材的濺射區域，控制運動參數，完成鎂膜層和鋁膜層交替生長的鋁/鎂多層膜結構的鍍制，形成鋁鎂混合保護層，所述鋁/鎂多層膜結構中，每層鎂膜的厚度為1-3納米，每層鋁膜的厚度為1-3納米，將膜層厚度設置為形成微晶顆粒的臨界厚度；

將鍍制完成的基底取出真空腔，放置于大氣環境中自發融合。

2.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述鋁/鎂多層膜結構中，由極紫外多層膜表面向上第一層為鎂膜層，最后一層為鋁膜層。

3.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述鋁/鎂多層膜結構中，鎂膜層的質量占一周期鋁/鎂膜層質量的36%-38%。

4.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述鋁/鎂多層膜結構中，鋁膜層和鎂膜層交替設置的膜對數為5-25對。

5.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述大氣環境中，環境溫度低于25°C，環境濕度低于20%RH。

6.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述真空環境為腔內氣壓為0.1~0.3Pa并充入由高純氬氣作為工作氣體的真空腔。

7.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述極紫外多層膜由吸收層和間隔層周期交替組成，吸收層材料包括SiC、Co、Zr中的一種，間隔層材料為Mg。

8.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述預濺射的時間為20-30分鐘。

9.根據權利要求1所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法，其特征在于，所述運動參數包括停留時間或運動速度。

10.一種帶有保護層的多層膜反射鏡，其特征在于，所述保護層為通過如權利要求1-9任一所述的抗環境侵蝕極紫外多層膜表面保護層快速制備方法制備獲得的鋁鎂混合保護層。