[發(fā)明專(zhuān)利]一種航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件涂層的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010944615.5
• 申請(qǐng)日: 2020-09-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112048702B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程玉賢;李浩宇;張志勇;鄭渠英;王璐;彭新
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)航發(fā)沈陽(yáng)黎明航空發(fā)動(dòng)機(jī)有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/32
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/32;C23C14/02
• 代理公司: 沈陽(yáng)東大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 21109
• 代理人: 李運(yùn)萍

1.一種航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件涂層的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1：將N列縱向靶材安裝于涂層設(shè)備中，2≤N≤8；

步驟2：將零部件表面進(jìn)行濕吹砂處理；

步驟3：將零部件浸入有機(jī)溶劑中超聲清洗，進(jìn)行表面去油處理，然后烘干；

步驟4：將烘干后的零部件裝于涂層設(shè)備的真空室的樣品架上，零部件位置正對(duì)縱向靶材；然后將真空室抽真空；

步驟5：當(dāng)真空室的真空度至9×10^-3Pa時(shí)，同時(shí)開(kāi)啟涂層設(shè)備的主加熱器和副加熱器，使零部件升溫至200~230℃；

步驟6：開(kāi)啟涂層設(shè)備的偏壓電源，調(diào)節(jié)偏壓至-800±10V，并向真空室內(nèi)通入氬氣；在-800±10V偏壓下，離子轟擊清洗零部件5~8min，除去零部件表面的氧化物和污染物，然后關(guān)閉氬氣閥；

步驟7：開(kāi)啟N列縱向靶材的弧電流，并調(diào)節(jié)弧電流至80±5A，調(diào)節(jié)偏壓至-200±10V，占空比為20±3%；同時(shí)控制樣品架帶動(dòng)零部件進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，N列縱向靶材同時(shí)蒸發(fā)粒子，蒸發(fā)粒子運(yùn)動(dòng)并沉積覆蓋到零部件表面，進(jìn)行涂層沉積，涂層沉積時(shí)間50~70min，涂層沉積時(shí)，真空室背底真空度≤7×10^-3Pa；

步驟8：待涂層沉積完成，關(guān)閉弧電流和偏壓電源，緊接著關(guān)閉氬氣閥；然后使零部件在≤5×10^-3Pa真空度條件下，冷卻至100℃以下，最后取出零部件，完成鍍層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件涂層的制備方法，其特征在于，步驟3中，所述有機(jī)溶劑為丙酮或石油醚。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件涂層的制備方法，其特征在于，步驟3中，所述零部件為航空發(fā)動(dòng)機(jī)的錐體，錐體尺寸為Φ（400~450）mm×（500~550）mm×δ（0.5~0.8）mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件涂層的制備方法，其特征在于，步驟3中，所述零部件為航空發(fā)動(dòng)機(jī)的調(diào)節(jié)片鏈，調(diào)節(jié)片鏈尺寸為（400~480）mm×（100~170）mm×δ（0.5~2）mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件涂層的制備方法，其特征在于，步驟3中，所述零部件為航空發(fā)動(dòng)機(jī)的密封片鏈，密封片鏈尺寸為（400~490）mm×（50~100）mm×δ（0.5~2）mm。