[發(fā)明專利]蝕刻液、觸控面板及其制作方法

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• 申請日: 2020-09-09
• 公開（公告）號: CN113126831A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蕭仲欽;練修成;蕭啓帆;蔡家揚;邱逸文
• 申請（專利權(quán)）人: 英屬維爾京群島商天材創(chuàng)新材料科技股份有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;張燕華

1.一種觸控面板的制作方法，其特征在于，包含：

提供一基板，其中該基板具有一顯示區(qū)與一周邊區(qū)；

設(shè)置一金屬層與一金屬納米線層，其中該金屬納米線層的一第一部分位于該顯示區(qū)，該金屬納米線層的一第二部分與該金屬層位于該周邊區(qū)；及

進行一圖案化步驟，其中該圖案化步驟包括利用可蝕刻該金屬層與該金屬納米線層的一蝕刻液將該金屬層形成多個周邊引線并同時將該金屬層的該第二部分形成多個蝕刻層，其中該蝕刻液包括雙氧水(0.2-40wt％)、酸類(0.2-20wt％)、金屬緩蝕劑(0.1-10wt％)及/或安定劑(0.1-10wt％)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該圖案化步驟還包括利用該蝕刻液將該金屬納米線層的該第一部分形成一觸控感應(yīng)電極，該觸控感應(yīng)電極設(shè)置于該基板的該顯示區(qū)，該觸控感應(yīng)電極電性連接該些周邊引線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該金屬緩蝕劑包含有含氮、含硫或含羥基的、具有表面活性的有機化合物、巰基苯并噻唑、苯并三唑和甲基苯并三唑中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該安定劑包含有乙二胺四乙酸、二乙烯三胺五乙酸、羥乙基乙二胺三乙酸、二乙胺五乙酸、N-羥乙基乙二胺三乙酸和聚丙烯酸胺中的至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該設(shè)置該金屬層與該金屬納米線層包括：

設(shè)置該金屬層于該周邊區(qū)；及

接著設(shè)置該金屬納米線層于該顯示區(qū)與該周邊區(qū)，該第一部分位于該顯示區(qū)而成形于該基板上，該第二部分位于該周邊區(qū)而成形于該金屬層上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該設(shè)置該金屬層于該周邊區(qū)包括：

將該金屬層成形于該周邊區(qū)與該顯示區(qū)；及

移除位于該顯示區(qū)的該金屬層。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該蝕刻液的成分包括雙氧水(1.0-10.0wt％)、酸類(1.0-5.0wt％)、金屬緩蝕劑(2.0-7.0wt％)及/或安定劑(3.0-8.0wt％)。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該圖案化步驟還包括利用該蝕刻液將該金屬層形成多個標記，該些蝕刻層包括多個第一覆蓋物及多個第二覆蓋物，每一該些第一覆蓋物設(shè)置在對應(yīng)的該些周邊引線上，每一該些第二覆蓋物設(shè)置在對應(yīng)的該些標記上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該設(shè)置該金屬層與該金屬納米線層包括：

設(shè)置該金屬納米線層于該顯示區(qū)與該周邊區(qū)；及

接著設(shè)置該金屬層于該周邊區(qū)，其中該金屬層位于該第二部分上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該蝕刻液的成分包括雙氧水(1.0-5.0wt％)、酸類(0.1-0.6wt％)、金屬緩蝕劑(2.0-7.0wt％)及/或安定劑(3.0-8.0wt％)。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該圖案化步驟還包括利用該蝕刻液將該金屬層形成多個標記，該些蝕刻層包括多個第一中間層及多個第二中間層，每一該些第一中間層設(shè)置在對應(yīng)的該些周邊引線與該基板之間，每一該些第二中間層設(shè)置在對應(yīng)的該些標記與該基板之間。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，還包括設(shè)置一膜層。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法，其特征在于，該制作方法可于該基板的一面或雙面進行。

14.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板的制作方法所制成的觸控面板。