[發明專利]一種離子輔助濺射沉積制備TiN刀具涂層方法在審
| 申請號： | 202010940998.9 | 申請日： | 2020-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN111996509A | 公開（公告）日： | 2020-11-27 |
| 發明（設計）人： | 丁力;肖菲;張法光;楊麗萍;韓洪雄 | 申請（專利權）人： | 貴州省機電研究設計院 |
| 主分類號： | C23C14/48 | 分類號： | C23C14/48;C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州新源專利事務所(普通合伙) 33234 | 代理人： | 毛慶圓 |
| 地址： | 550000 貴*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 輔助 濺射 沉積 制備 tin 刀具 涂層 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子輔助濺射沉積制備TiN刀具涂層方法，其特征在于：包括以下步驟；
A、采用N離子對刀具表面氧化層進行離子清洗；
B、通過離子注入N的方法在刀刃近表面和表面形成注入層；
C、在所述注入層的表面同時進行氮離子注入和TiN離子濺射，沉積一層硬質TiN沉積層。
2.根據權利要求1所述的離子輔助濺射沉積制備TiN刀具涂層方法，其特征在于，步驟A中，離子清洗的參數為：離子源通過氣體為氮氣，加速電壓為10Kv，清洗時間為10min。
3.根據權利要求1所述的離子輔助濺射沉積制備TiN刀具涂層方法，其特征在于，步驟B中，離子注入的參數為：離子源通入氣體為氮氣，加速電壓為60kv，注入時間為60～120min。
4.根據權利要求1所述的離子輔助濺射沉積制備TiN刀具涂層方法，其特征在于，步驟C中，濺射沉積參數為：濺射靶材TiN，加速電壓2～3kV，濺射時間30-90min。
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