[發(fā)明專利]一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010939655.0 | 申請(qǐng)日: | 2020-09-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112117349B | 公開(公告)日: | 2022-05-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 盛文彬;沈根法;劉克勇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 湖州奧博石英科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司: | 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33246 | 代理人: | 楊學(xué)強(qiáng) |
| 地址: | 313000 浙江省湖州*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 太陽(yáng)能電池 硅片 擴(kuò)散 工藝 | ||
1.一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,包括正花籃、反花籃、推片裝置、石英舟;所述石英舟包括一對(duì)支座和設(shè)有卡槽的四個(gè)支桿;所述支桿包括第一支桿、第二支桿、第三支桿和第四支桿;所述第一支桿、第二支桿的連線與第三支桿、第四支桿的連線形成直角;在支座一側(cè)傾倒放置時(shí),第一支桿、第二支桿的連線與水平面平行;所述推片裝置包括基座,設(shè)置在基座上的底板一、底板二,設(shè)置在底板一外側(cè)的推板一,設(shè)置在底板二外側(cè)的推板二;所述底板一、底板二通過(guò)設(shè)置在基座上的兩個(gè)底板軌道在長(zhǎng)度方向上移動(dòng);所述推板一、推板二通過(guò)基座兩側(cè)設(shè)有的推板軌道在底部一、底板二寬度方向上移動(dòng);工藝包括:
步驟S01,準(zhǔn)備合片,正花籃正放硅片,反花籃反放硅片,正花籃、反花籃外形大小一致;
步驟S02,合片,正花籃固定放置在底板一上、反花籃固定放置在底板二上,正花籃與反花籃開口側(cè)相對(duì);調(diào)節(jié)底板一、底板二,令正花籃的硅片槽與反花籃的硅片槽錯(cuò)位,用反花籃一側(cè)的推板二將反花籃內(nèi)的硅片推入正花籃內(nèi),確認(rèn)絨面朝外,正花籃每個(gè)硅片槽內(nèi)放有兩片硅片;
步驟S03,準(zhǔn)備插片,取下底板二上的反花籃,調(diào)整底板二一側(cè)的推板二后,固定放置石英舟在底板二上,石英舟卡槽開口與正花籃開口側(cè)相對(duì);
步驟S04,調(diào)整底板一、底板二令正花籃的硅片槽與石英舟的卡槽相對(duì)應(yīng),用正花籃一側(cè)的推板一將正花籃內(nèi)的硅片推入石英舟內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,所述底板一、底板二下方設(shè)有支撐條,支撐條通過(guò)軌道在長(zhǎng)度方向上移動(dòng);通過(guò)底板一、底板二在軌道上的移動(dòng),調(diào)節(jié)底板一、底板二令正花籃的硅片槽與反花籃的硅片槽錯(cuò)位,或調(diào)整底板一、底板二令正花籃的硅片槽與石英舟的卡槽相對(duì)應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,所述底板軌道長(zhǎng)度比支撐條長(zhǎng)0.5CM-1CM。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,所述推板一通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂一連接到推板軌道、推板二通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂二連接到推板軌道;驅(qū)動(dòng)臂驅(qū)動(dòng)反花籃一側(cè)的推板二將反花籃內(nèi)的硅片推入正花籃內(nèi),或驅(qū)動(dòng)正花籃一側(cè)的推板一將正花籃內(nèi)的硅片推入石英舟內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,所述推板二通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂二連接到推板軌道,所述驅(qū)動(dòng)臂二上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié);步驟S03具體包括:所述推板二通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂二在推板軌道上的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)到與底板二同一平面后,再取下底板二上反花籃,推板二通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂二在推板軌道上的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)到契合石英舟的角度后,固定放置石英舟在底板二上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,所述推板一通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂一連接到推板軌道、推板二通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂二連接到推板軌道;所述驅(qū)動(dòng)臂一、驅(qū)動(dòng)臂二上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié);步驟S02具體包括:所述推板一、推板二通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂一、驅(qū)動(dòng)臂二在推板軌道上的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)到與底板一、底板二同一平面后,再將正花籃固定放置在底板一上,反花籃固定放置在底板二上;之后,所述推板一、推板二通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂一、驅(qū)動(dòng)臂二在推板軌道上的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)到與底板一、底板二垂直的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,所述底板一、底板二寬度位置的兩側(cè)均設(shè)有防護(hù)板,所述防護(hù)板在靠近另一個(gè)防護(hù)板的位置均設(shè)有限位塊;用反花籃一側(cè)的推板二將反花籃內(nèi)的硅片推入正花籃內(nèi)時(shí),推板二碰到限位塊后停止推動(dòng);用正花籃一側(cè)的推板一將正花籃內(nèi)的硅片推入石英舟內(nèi)時(shí),推板一碰到限位塊后停止推動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池硅片擴(kuò)散插片工藝,其特征在于,所述石英舟的第二支桿、第三支桿滑動(dòng)連接在支座上;所述步驟S03還包括:根據(jù)硅片的大小調(diào)整第二支桿、第三支桿的位置后,再放置石英舟在底板二上。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





