[發明專利]伺服閥

在審

• 申請號: 202010939652.7
• 申請日: 2020-09-09
• 公開（公告）號: CN112460089A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 矢島久志;石川真之;伊藤哲;土屋元;金澤猛彥
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F15B13/02
• 分類號: F15B13/02;F16K11/07;F16K31/06;F16K27/04
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 崔巍

一種伺服閥，套筒(22)的多個開口部(24a?24e)中的一個和滑柱的多個槽部(32a?32c)中的一個相互重疊的位置處的第一流路面積與套筒的多個開口部中的另一個和滑柱的多個槽部中的另一個相互重疊的位置處的第二流路面積的大小不同，套筒的多個開口部中的一個和滑柱的多個槽部中的一個通過滑柱(28)的位移而構成將一方的壓力室(36a)或另一方的壓力室(36b)與流體供給源連接的流路，套筒的多個開口部中的另一個和滑柱的多個槽部中的另一個通過滑柱的該位移而構成將另一方的壓力室或一方的壓力室與流體排出口連接的流路。

技術領域

本發明涉及一種控制對流體壓力缸的兩個壓力室進行供排的流體的流量的伺服閥。

背景技術

以往，已知例如將磁鐵可動型的電磁促動器作為驅動源控制滑柱的工作位置，控制向氣缸供給的空氣的流量的伺服閥(例如，日本特開2003-206908號公報)。

另一方面，已知如下技術：在氣缸或與氣缸連接的配管設置速度控制器(可變節流閥)，進行對從氣缸的壓力室排出的空氣的流量進行節流的出口節流式控制，或進行對向氣缸的壓力室供給的空氣的流量進行節流的入口節流式控制。出口節流式控制用于希望相對于干擾而使工作穩定的情況，或希望使到達行程末端后的推力的上升加快的情況。入口節流式控制用于希望對缸的勢頭猛烈的運動“飛出現象”加以抑制的情況，或希望到達行程末端后的推力的上升減緩的情況。

但是，在由伺服閥控制的氣缸中，在進行出口節流式控制或入口節流式控制的情況下，需要另行在氣缸、配管設置速度控制器。

發明內容

本發明是以這樣的情況為背景做出的，目的是提供一種伺服閥，具備實現出口節流式控制或入口節流式控制的獨特的結構。

本發明涉及的伺服閥控制對流體壓力缸的一方的壓力室及另一方的壓力室進行供排的流體的流量，其中，具備套筒及滑柱，該套筒具有多個開口部，該滑柱配置在套筒的內側，在滑柱設有多個脊部和多個槽部。并且，多個開口部中的一個和多個槽部中的一個相互重疊的位置處的第一流路面積與多個開口部中的另一個和多個槽部中的另一個相互重疊的位置處的第二流路面積的大小不同，多個開口部中的一個和多個槽部中的一個通過滑柱的位移而構成將一方的壓力室或另一方的壓力室與流體供給源連接的流路，多個開口部中的另一個和多個槽部中的另一個通過滑柱的該位移而構成將另一方的壓力室或一方的壓力室與流體排出口連接的流路。

根據上述伺服閥，無需在流體壓力缸設置速度控制器，通過伺服閥自身的結構就可以實現出口節流式控制或入口節流式控制。

本發明涉及的伺服閥，在滑柱位移時，套筒的規定的開口部和滑柱的規定的槽部相互重疊的部位處的第一流路面積與套筒的另外的規定的開口部和滑柱的另外的規定的槽部相互重疊的部位處的第二流路面積的大小不同，因此通過伺服閥自身的結構就可以實現出口節流式控制或入口節流式控制。

對于上述目的、特征及優點，根據參照附圖進行說明的以下的實施方式的說明應該容易了解。

附圖說明

圖1是包括本發明的伺服閥的系統的整體圖。

圖2是本發明的第一實施方式涉及的伺服閥的剖視圖。

圖3是表示圖2的伺服閥的滑柱處于中立位置時的套筒與滑柱的關系的概念圖。

圖4是圖2的滑柱沿X1方向位移規定量時的與圖3對應的圖。

圖5是圖2的滑柱沿X1方向較之圖4的情況進一步位移規定量時的與圖3對應的圖。

圖6是圖2的滑柱沿X2方向位移規定量時的與圖3對應的圖。

圖7是圖2的滑柱沿X2方向較之圖6的情況進一步位移規定量時的與圖3對應的圖。

圖8是表示進行出口節流式控制的情況下的圖2的伺服閥的滑柱的位置與流路的有效面積的關系的圖。