[發明專利]一種通過折射率調控拉曼散射強度的金屬波導傳感器

在審

• 申請號: 202010939614.1
• 申請日: 2020-09-09
• 公開（公告）號: CN111855641A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 陸炎;鄧小燕;石霄雯;王昕燦;張智華;陶雨濛
• 申請（專利權）人: 江蘇航運職業技術學院
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 劉紅陽

1.一種通過折射率調控拉曼散射強度的金屬波導傳感器，其特征在于，包括：玻璃板、薄銀膜、薄金膜、厚金膜、基底，薄銀膜覆蓋在玻璃板的上層，薄金膜沉積在玻璃板的下層，厚金膜覆蓋在基底上，基底與玻璃板貼合，樣品室設置于厚金膜和薄金膜之間，薄金膜將樣品室和玻璃板隔成上下兩個類Fabry-Perot腔，每個腔中各自都能產生一系列的振蕩導模場。

2.如權利要求1所述的一種通過折射率調控拉曼散射強度的金屬波導傳感器，其特征在于，所述薄銀膜厚度為30nm，所述薄金膜厚度為30nm，所述厚金膜厚度大于300nm，所述玻璃板厚度為1mm。

3.如權利要求2所述的一種通過折射率調控拉曼散射強度的金屬波導傳感器，其特征在于，所述玻璃板上的薄銀膜和薄金膜采用磁控濺射法鍍膜，基底上的厚金屬膜采用蒸發鍍膜法鍍膜，玻璃層之間采用光膠法粘合，最后通過衰減全反射技術檢測其耦合效率，耦合模式的反射率在最低點不大于20％，最高點不小于80％。

4.如權利要求3所述的一種通過折射率調控拉曼散射強度的金屬波導傳感器，其特征在于，所述基底材料為玻璃。

5.如權利要求4所述的一種通過折射率調控拉曼散射強度的金屬波導傳感器，其特征在于，所述樣品室內設置溶液，溶液折射率的變化導致拉曼散射效率的變化。

6.如權利要求5所述的一種通過折射率調控拉曼散射強度的金屬波導傳感器，其特征在于，所述兩個類Fabry-Perot腔中的振蕩導模場在薄金膜分界面上相互作用導致模式分裂，所述金屬波導傳感器結構中的模式密度提高一倍，入射光能量的耦合效率增大。