[發(fā)明專利]一種振蕩器及其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010936082.6 | 申請日： | 2020-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN112038483A | 公開（公告）日： | 2020-12-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王素梅;羅軍;趙超;王文武;葉甜春 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01L43/02 | 分類號： | H01L43/02;H01L43/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 楊麗爽 |
| 地址： | 100029 北京市朝陽*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 振蕩器 及其 制造 方法 | ||
1.一種振蕩器，其特征在于，包括：
重金屬層；
所述重金屬層上的疊層柱，所述疊層柱包括依次層疊的第一磁性層、隔離層和第二磁性層，所述第一磁性層和所述第二磁性層的磁化方向位于面內(nèi)，所述第一磁性層耦合至所述重金屬層產(chǎn)生振蕩，所述第二磁性層產(chǎn)生雜散場。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振蕩器，其特征在于，所述重金屬層的材料為Ta、Pt、W、Hf、Ir、CuBi、CuIr或AuW。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振蕩器，其特征在于，所述隔離層的材料可以為非磁性金屬材料或絕緣材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振蕩器，其特征在于，還包括：位于所述第二磁性層上的釘扎層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振蕩器，其特征在于，所述釘扎層的材料可以為IrMn、PtMn或CoPt。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任意一項所述的振蕩器，其特征在于，所述第一磁性層或所述第二磁性層的材料為Fe、Co、Ni或它們的合金。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任意一項所述的振蕩器，其特征在于，所述疊層柱橫截面的形狀為圓形、橢圓形或方形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任意一項所述的振蕩器，其特征在于，所述振蕩器的振蕩頻率根據(jù)以下至少一種調(diào)節(jié)方式進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述調(diào)節(jié)方式包括：
所述第一磁性層和所述第二磁性層之間的距離、所述第二磁性層的飽和磁化強度以及所述第二磁性層的厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
9.一種振蕩器的制造方法，其特征在于，包括：
在重金屬層上形成第一磁性層，所述第一磁性層的磁化方向位于面內(nèi)，所述第一磁性層耦合至所述重金屬層產(chǎn)生振蕩；
在所述第一磁性層上依次形成隔離層和第二磁性層，所述第二磁性層的磁化方向位于面內(nèi)，所述第二磁性層產(chǎn)生雜散場。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，還包括：
在所述第二磁性層上形成釘扎層。
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