[發(fā)明專利]用于低溫電子顯微鏡的樣品制備方法和裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010933864.4
• 申請(qǐng)日: 2020-09-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112557422A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·亨德里克森;M·奎吉珀;L·梅萊;P·多納;E·拉賈;A·阿米尼安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號(hào): G01N23/04
• 分類號(hào): G01N23/04;G01N23/20058;G01N1/38
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張凌苗;陳嵐

1.一種樣品檢查裝置，其包含：

形成在頂部電子透明層與底部電子透明層之間的第一室，其用于固持第一樣品；

所述第一室內(nèi)的多個(gè)柱，所述多個(gè)柱中的每個(gè)柱從所述頂部電子透明層延伸到所述底部電子透明層；和

形成有所述頂部電子透明層與所述底部電子透明層中的至少一個(gè)的一部分的窗口，其用于檢查所述第一室中的所述第一樣品，所述窗口覆蓋所述多個(gè)柱中的至少一個(gè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品檢查裝置，其中所述窗口允許檢查圍繞由所述窗口覆蓋的所述多個(gè)柱中的所述至少一個(gè)的所述第一樣品。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品檢查裝置，其還包含：形成在所述頂部電子透明層與所述底部電子透明層之間的第二室，其用于固持第二樣品；并且其中所述窗口覆蓋所述第二室的一部分，用于檢查所述第二室中的所述第二樣品。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣品檢查裝置，其中所述多個(gè)柱布置在所述第二室中的所述頂部電子透明層與所述底部電子透明層之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣品檢查裝置，其中所述第一室和所述第二室在由所述窗口覆蓋的區(qū)域中流體連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1到5中任一項(xiàng)所述的樣品檢查裝置，其中所述多個(gè)柱中的每個(gè)柱的一端結(jié)合到所述頂部電子透明層，并且所述柱的另一端結(jié)合到所述底部電子透明層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1到5中任一項(xiàng)所述的樣品檢查裝置，其還包含入口和緩沖室，其中所述入口經(jīng)由所述緩沖室流體連接到所述第一室，并且沒(méi)有柱布置在所述緩沖室中。

8.根據(jù)權(quán)利要求1到5中任一項(xiàng)所述的樣品檢查裝置，其中與所述第一樣品接觸的所述頂部電子透明層和/或所述底部電子透明層的至少一部分被預(yù)處理，以便于將所述第一樣品轉(zhuǎn)移到所述第一室中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1到5中任一項(xiàng)所述的樣品檢查裝置，其中所述窗口的不覆蓋所述多個(gè)柱中的所述至少一個(gè)的區(qū)域允許帶電粒子束透射通過(guò)所述樣品檢查裝置。

10. 根據(jù)權(quán)利要求1到5中任一項(xiàng)所述的樣品檢查裝置，其中所述兩個(gè)電子透明層之間的距離小于100 nm。

11.一種使用樣品檢查裝置檢查樣品的方法，其包含：

使第一樣品流入所述樣品檢查裝置的第一室中，其中所述第一室形成在頂部電子透明層與底部電子透明層之間，在所述第一室中布置有多個(gè)柱，并且所述多個(gè)柱中的每個(gè)柱從所述頂部電子透明層延伸到所述底部電子透明層；

將帶電粒子束引向所述樣品檢查裝置的窗口，其中所述窗口形成有所述頂部電子透明層與所述底部電子透明層中的至少一個(gè)的一部分，并且所述窗口覆蓋所述多個(gè)柱中的至少一個(gè)；和

基于透射通過(guò)所述樣品檢查裝置的帶電粒子形成所述第一樣品的第一圖像。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其還包含在使所述第一樣品流入所述第一室中之前處理所述檢查裝置的內(nèi)表面。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中將所述帶電粒子束引向所述窗口包括將所述束引向所述窗口的不覆蓋所述多個(gè)柱中的所述至少一個(gè)的位置。

14.根據(jù)權(quán)利要求11到13中任一項(xiàng)所述的方法，其還包含在使所述第一樣品流入所述第一室中之后并且在將所述帶電粒子束引向所述樣品檢查裝置的所述窗口之前，使所述樣品檢查裝置中的所述第一樣品玻璃化。

15.根據(jù)權(quán)利要求11到13中任一項(xiàng)所述的方法，其中將所述帶電粒子束引向所述樣品檢查裝置的所述窗口并基于透射通過(guò)所述樣品檢查裝置的所述帶電粒子形成所述第一樣品的所述第一圖像包括：將所述帶電粒子束引向所述第一室的第一位置，并且基于透射通過(guò)所述樣品檢查裝置的所述帶電粒子形成所述第一樣品的所述第一圖像。