[發明專利]一種壓力罐

有效

• 申請號: 202010926494.1
• 申請日: 2020-09-07
• 公開（公告）號: CN112032301B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 徐飛;鄔治國;沈健;華衛群;尤春
• 申請（專利權）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司;無錫中微掩模電子有限公司
• 主分類號: F16J12/00
• 分類號: F16J12/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 張天一

本發明公開了一種壓力罐，涉及高壓儲存設備技術領域，包括：壓力罐本體和加/泄壓設備，壓力罐本體包括罐體、內桶體和蓋體，罐體和內桶體均一端開口，罐體套設于內桶體外且罐體和內桶體的開口同向設置，蓋體可拆卸連接于罐體上且能夠將內桶體和罐體密封，加/泄壓設備的加/泄壓端能夠向內桶體和/或罐體內加壓或泄壓；壓力罐本體上還設置有進液口和出液口，內桶體為耐腐蝕材料制成，罐體為耐高壓材料制成，本發明提供的提高壓力罐能夠所儲存藥劑的潔凈度以及延長壓力罐的使用壽命。

技術領域

本發明涉及高壓儲存設備技術領域，特別是涉及一種壓力罐。

背景技術

在濕法清洗工藝中會使用到酸性或者堿性的藥劑，而這些藥劑存儲和清洗輸出的過程均是在壓力罐中進行；特別是在半導體領域內的濕法工藝，對壓力罐潔凈度要求較高，現有的壓力罐直接將藥劑儲存于內壁涂覆有抗腐蝕材料的罐體內，抗腐蝕材料易于脫落，導致罐體易被藥劑腐蝕，且使得藥劑內混入雜質，潔凈度不高，因此，亟需一種新型的壓力罐。

發明內容

本發明的目的是提供一種壓力罐，以解決上述現有技術存在的問題，提高所儲存藥劑的潔凈度以及延長壓力罐的使用壽命。

為實現上述目的，本發明提供了如下方案：

本發明提供一種壓力罐，包括：壓力罐本體和加/泄壓設備，所述壓力罐本體包括罐體、內桶體和蓋體，所述罐體和所述內桶體均一端開口，所述罐體套設于所述內桶體外且所述罐體和所述內桶體的開口同向設置，所述蓋體可拆卸連接于所述罐體上且能夠將所述內桶體和所述罐體密封，所述加/泄壓設備的加/泄壓端位于所述壓力罐本體內并向所述內桶體和/或所述罐體內加壓或泄壓；所述壓力罐本體上還設置有進液口和出液口，所述內桶體為耐腐蝕材料制成，所述罐體為耐高壓材料制成。

優選的，所述內桶體與所述罐體之間存在間隙，所述加/泄壓設備的加/泄壓端穿過所述蓋體向所述內桶體和所述罐體與所述內桶體之間的間隙內加壓，且能夠使得所述內桶體內與內桶體外的壓強大小一致。

優選的，所述蓋體包括內壓板和緊固壓板，所述內壓板與所述緊固壓板從下至上依次蓋設于所述罐體的開口上，所述罐體開口端的外壁上設置有環形法蘭，所述蓋體通過若干個螺栓固定設置于所述環形法蘭上，所述內壓板為抗腐蝕材料制成，所述緊固壓板為抗高壓材料制成。

優選的，還包括一密封圈，所述環形法蘭用于與所述蓋體接觸的一端面上沿周向設置有一環形凹槽，所述密封圈設置于所述環形凹槽內且突出于所述環形凹槽，所述密封圈具備彈性。

優選的，還包括一過壓防爆裝置，所述過壓防爆裝置的腔體連通于所述內桶體。

優選的，還包括若干個防腐帽，各螺栓的螺帽上均套設有一所述防腐帽，所述防腐帽由抗腐蝕材料制成。

優選的，所述內桶體內從下至上依次設置有低液位浮子傳感器、高液位浮子傳感器和溢出浮子傳感器。

優選的，所述罐體為不銹鋼材料制成，所述內桶體為四氟材料制成，所述罐體的外壁內壁上均涂覆有四氟涂層。

優選的，所述出液口和所述進液口均設置有一進液管和出液管，所述進液管的兩端分別連通于所述內桶體和供液設備，所述出液管的兩端分別連通于所述內桶體和待輸液設備，所述出液管和所述進液管均由PFA材料制成。

優選的，還包括兩個連接桿，兩個所述連接桿的一端均連接于所述蓋體上，另一端向所述內桶體內延伸，兩個所述連接桿的外壁上均涂覆有PFA膜，所述低液位浮子傳感器和所述高液位浮子傳感器固定設置于一個所述連接桿上，所述溢出浮子傳感器固定設置于另一個所述連接桿上，各液位傳感器的殼體的材質均為PFA材料制成。

優選的，還包括一防腐罩，所述防腐罩扣設于所述蓋體上，所述蓋體上的所有連接結構均位于所述防腐罩內。

本發明相對于現有技術取得了以下技術效果：