[發明專利]一種超疏油有機涂層及其制備方法

有效

• 申請號: 202010926078.1
• 申請日: 2020-09-07
• 公開（公告）號: CN111978863B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 郭宇軒
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: C09D183/04
• 分類號: C09D183/04;C09D7/61
• 代理公司: 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253
• 代理人: 李斌棟;沈寒酉

本發明實施例公開了一種超疏油有機涂層及其制備方法；該超疏油有機涂層原料包括以下質量份組分：二氧化硅納米粒子3份、碳化硅納米粒子1份、有機溶液10份、聚二甲基硅氧烷1份、固化劑10份以及質量占比為98％乙醇溶液120份至240份；其中，所述二氧化硅納米粒子的粒徑小于所述碳化硅納米粒子的粒徑。

技術領域

本發明實施例涉及有機涂層領域技術領域，尤其涉及一種超疏油有機涂層及其制備方法。

背景技術

在硅片制造領域中，為了對工件進行加工以及冷卻，會在多線切割工藝和雙面研磨工藝中使用大量的砂漿。這種砂漿是由如碳化硅、三氧化二鋁、二氧化硅等顆粒和油性或水性聚合物以及分散劑組成的，并且在工藝實施過程中循環使用。但是砂漿在循環使用的過程中會有一部分殘留在工藝設備的表面，而這類工藝設備的表面一般為金屬、有機物或玻璃等高表面能的材料，導致砂漿一旦殘留在表面就會很難除去。

目前，為了去除工藝設備在工藝實施過程中殘留于表面的砂漿，通常會利用輔助溶劑進行清潔，但是清潔之后的輔助溶劑會進入循環使用的砂漿中，導致砂漿濃度降低，而為了保證工件的質量，就需要在工藝實施過程中不斷地加入新的砂漿以保證砂漿濃度，如此，降低了砂漿的使用效率，造成了砂漿的浪費，增加了工藝成本。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例期望提供一種超疏油有機涂層及其制備方法；能夠減少砂漿對工藝設備表面的污染，降低砂漿的浪費，提高砂漿的使用效率，降低工藝成本。

本發明實施例的技術方案是這樣實現的：

第一方面，本發明實施例提供了一種超疏油有機涂層，所述超疏油有機涂層原料包括以下質量份組分：

二氧化硅納米粒子3份、碳化硅納米粒子1份、有機溶液10份、聚二甲基硅氧烷1份、固化劑10份以及質量占比為98％乙醇溶液120份至240份；其中，所述二氧化硅納米粒子的粒徑小于所述碳化硅納米粒子的粒徑。

第二方面，本發明實施例提供了一種超疏油有機涂層的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

按照質量份配比將3份二氧化硅納米粒子和1份碳化硅納米粒子分散于10份有機溶液中，獲得第一懸浮液；其中，所述二氧化硅納米粒子的粒徑小于所述碳化硅納米粒子的粒徑；

通過磁力攪拌裝置以每分鐘1200轉至2000轉的轉速攪拌所述第一懸浮液30分鐘，獲得第一混合物；

按照質量份配比將1份的聚二甲基硅氧烷與10份的固化劑混合并通過磁力攪拌裝置以每分鐘1200轉至2000轉的轉速攪拌10分鐘，獲得第二混合物；

將所述第一混合物與所述第二混合物放入超聲波儀器中，并通過機械攪拌裝置進行4小時至8小時混合攪拌；其中，在混合攪拌期間，保持28攝氏度的加熱溫度并且按照每10分鐘加入5質量份的頻率加入質量占比為98％的乙醇溶液；

將混合攪拌完畢后所得到的漿料噴涂于設備表面，并利用烘干機對噴涂有所述漿料的設備表面進行加熱，加熱溫度為40℃，待漿料固化后獲得超疏油有機涂層。

本發明實施例提供了一種超疏油有機涂層及其制備方法；與現有技術相比，本發明實施例具有如下有益效果：減少砂漿對工藝設備表面的污染，降低砂漿的浪費，提高砂漿的使用效率，降低工藝成本。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的未涂覆超疏油有機涂層時砂漿與工藝設備的金屬表面之間的接觸角示意圖；

圖2為本發明實施例提供的一種超疏油有機涂層的制備方法流程示意圖；

圖3為本發明實施例提供的在電子顯微鏡下所觀測到的超疏油有機涂層的圖像；

圖4為本發明實施例提供的涂覆超疏油有機涂層之后砂漿與工藝設備的金屬表面之間的接觸角示意圖。

具體實施方式