[發(fā)明專利]一種小尺寸GEM膜板的工業(yè)化制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010925524.7
• 申請日: 2020-09-04
• 公開（公告）號: CN111916331B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 董洋;朱麗娜;張夢夢;姚暢;孫亞
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航天新立科技有限公司;北京衛(wèi)星制造廠有限公司
• 主分類號: H01J43/22
• 分類號: H01J43/22;H01J43/06;H01J9/02
• 代理公司: 北京市京大律師事務(wù)所 11321
• 代理人: 李光松

1.一種小尺寸GEM膜板(10)的工業(yè)化制作方法，其特征在于，通過以下工藝流程實現(xiàn)的：

步驟1下料，利用PCB剪板機按實際GEM膜板(10)尺寸，長方向增加25mm-40mm，寬方向增加15mm-25mm，裁成小塊材料，之后按此尺寸裁切蓋板(12)、墊板(14)；

步驟2光繪底片(1)，利用光繪機光繪生產(chǎn)所使用的底片(1)；

步驟3檢驗1，用計量器具按“米”字形對步驟2中所產(chǎn)生的底片(1)質(zhì)量進(jìn)行檢驗；

步驟4加工定位系統(tǒng)，利用設(shè)備在板材上加工定位系統(tǒng)；

步驟5表面清洗1，將步驟4加工完的板材放入設(shè)備中進(jìn)行表面清洗；

步驟6表面涂覆保護(hù)層，將步驟5清洗完的板材，帶入黃光區(qū)利用設(shè)備進(jìn)行表面保護(hù)層涂覆；

步驟7保護(hù)層半固化，對于涂覆完保護(hù)層的板材，需要在烘箱中對保護(hù)層進(jìn)行烘烤以達(dá)到半固化效果；

步驟8圖形轉(zhuǎn)移，涂覆完保護(hù)層的板材在黃光區(qū)內(nèi)進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移，利用底片(1)定位靶標(biāo)(3)、定位銷釘(11)、板材上的定位孔和透圖臺以及40倍手持目鏡來進(jìn)行對位；

步驟9保護(hù)層固化，對于完成步驟8的板材，需要在烘箱中對保護(hù)層進(jìn)行烘烤以達(dá)到完全固化效果；

步驟10檢驗2，用40倍手持目鏡檢查保護(hù)層的完整性和顯影狀態(tài)，用透圖臺和目鏡檢查上下面圖形的對位情況，剔除殘次品；

步驟11表面銅箔蝕刻，利用蝕刻溶液將板材上下表面裸露銅箔進(jìn)行腐蝕，銅箔腐蝕采用噴淋方法；

步驟12表面清洗2，操作同步驟5，清洗后迅速用高壓空氣吹凈表面水漬；

步驟13保護(hù)層退除，用退膜液將保護(hù)層退除干凈；

步驟14表面清洗3，操作同步驟12，清洗后迅速用高壓空氣吹凈表面水漬；

步驟15檢驗3，用手持40倍目鏡檢查銅箔蝕刻狀態(tài)，用透圖臺和目鏡檢查上下面圖形的對位情況，剔除殘次品；

步驟16邊緣圖形保護(hù)，用抗堿蝕膠帶將GEM膜板(10)圖形邊緣到工藝邊之間的基材保護(hù)好；

步驟17蝕刻孔內(nèi)基材，用蝕刻液蝕刻孔內(nèi)基材；

步驟18表面清洗4，去除GEM膜板(10)上的保護(hù)膠帶，之后操作同步驟14，清洗后迅速用高壓空氣吹凈表面水漬；

步驟19檢驗4，用金相顯微鏡或具有測量功能的光學(xué)顯微鏡對GEM膜板(10)基材進(jìn)行檢查，顯微鏡放大倍數(shù)不低于100倍，并在電腦上測量rim尺寸，并記錄；

步驟20金屬表面處理，通過電鍍方法對GEM膜板(10)表面進(jìn)行處理；

步驟21工藝導(dǎo)線去除，用直柄手術(shù)刀在顯微鏡下進(jìn)行操作，去除用于步驟20的電鍍用工藝導(dǎo)線；

步驟22外形加工，利用設(shè)備和板材上的定位系統(tǒng)加工外形；

步驟23表面清洗5，操作同步驟14，清洗后迅速用高壓空氣吹凈表面水漬；

步驟24檢驗5，用手持目鏡和卡尺對GEM膜板(10)進(jìn)行終檢并記錄；

步驟25包裝，用真空塑封機對GEM膜板(10)進(jìn)行抽真空包裝，抽真空前必須用比GEM膜板(10)尺寸大的硬紙板包裹住GEM膜板(10)，避免由于基材過軟造成損害。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸GEM膜板(10)的工業(yè)化制作方法，其特征在于，在所述步驟2中，所述底片(1)的工藝邊(2)為“回”字形，在底片(1)最外圍，工藝邊(2)每邊寬度為15mm-30mm；所述底片(1)的定位靶標(biāo)(3)為雙環(huán)加中心十字線結(jié)構(gòu)，雙環(huán)的內(nèi)環(huán)直徑與定位銷直徑一致；定位靶標(biāo)(3)分布在角線(4)的外側(cè)，數(shù)量4至6個；所述角線(4)為兩條互相垂直，長度為4mm-8mm的實線，其位置是以實際GEM膜板(10)外邊框為基點向四邊各延長4mm-8mm，形成的矩形的四個頂角；GEM膜板(10)信息主要分布自圖形的上下兩邊，上邊的信息主要是GEM膜板(10)名稱、制作日期和生產(chǎn)單位信息；下邊的信息主要是步驟1中裁板的最終尺寸、有效電鍍面積和拼版相對坐標(biāo)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種小尺寸GEM膜板(10)的工業(yè)化制作方法，其特征在于，所述步驟1中，利用PCB剪板機按實際GEM膜板(10)尺寸，長方向增加30mm，寬方向20mm；所述步驟2中，工藝邊(2)每邊寬度為25mm，所述角線(4)長度為5mm，所述角線(4)位置是以實際GEM膜板(10)外邊框為基點向四邊各延長5mm形成的矩形的四個頂角。