[發(fā)明專利]一種具有加速度帶通功能的MEMS慣性閉鎖開關(guān)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010925107.2
• 申請日: 2020-09-06
• 公開（公告）號: CN112164624B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 席占穩(wěn);朱恒伯;曹云;聶偉榮
• 申請（專利權(quán)）人: 南京理工大學(xué)
• 主分類號: H01H35/14
• 分類號: H01H35/14;H01H1/00
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利中心 32203
• 代理人: 汪清

1.一種具有加速度帶通功能的MEMS慣性閉鎖開關(guān)，其特征在于，包括襯底(1)、支撐錨點(2)、質(zhì)量塊(3)、第一復(fù)位彈簧(4)、第二復(fù)位彈簧(6)、限位塊(5)、閉鎖機構(gòu)(7)、下級鎖止機構(gòu)、過濾器(10)；

所述襯底(1)上設(shè)有支撐錨點(2)；所述限位塊(5)固定在支撐錨點(2)上，所述質(zhì)量塊(3)可相對支撐錨點(2)滑動；所述質(zhì)量塊(3)一端設(shè)有第一橫梁(3-1)，另一端設(shè)有第二橫梁(3-2)；所述第一橫梁(3-1)位于限位塊(5)內(nèi)；所述第二橫梁(3-2)位于限位塊(5)外部；所述限位塊(5)內(nèi)部設(shè)有質(zhì)量塊(3)主體和第一橫梁(3-1)滑動的空腔；所述限位塊(5)限制質(zhì)量塊(3)沿彈體軸向以及沿垂直于彈體軸向的滑動距離；所述質(zhì)量塊(3)主體中間設(shè)有空腔，空腔內(nèi)平行連接有兩個第一復(fù)位彈簧(4)，兩個第一復(fù)位彈簧(4)與固定塊(11)相連；所述第二橫梁(3-2)連接有兩個第二復(fù)位彈簧(6)；兩個第二復(fù)位彈簧(6)與固定橫梁(12)相連，所述固定塊(11)、固定橫梁(12)均固定在支撐錨點(2)上；所述第二橫梁(3-2)與固定橫梁(12)之間設(shè)有閉鎖機構(gòu)(7)，且所述閉鎖機構(gòu)(7)設(shè)置在兩個第二復(fù)位彈簧(6)之間；所述第二橫梁(3-2)兩端設(shè)有下級鎖止機構(gòu)；所述限位塊(5)內(nèi)還設(shè)有兩個懸臂結(jié)構(gòu)的過濾器(10)，兩個過濾器(10)分別位于第一橫梁(3-1)的左右兩側(cè)，所述過濾器(10)用于限制質(zhì)量塊(3)受勤務(wù)載荷時的軸向位移，使得閉鎖機構(gòu)(7)無法閉鎖，在目標(biāo)載荷作用下閉鎖機構(gòu)(7)可實現(xiàn)閉鎖。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS慣性閉鎖開關(guān)，其特征在于，所述閉鎖機構(gòu)(7)包括閉鎖頭(7-1)、鎖鉤(7-2)；所述閉鎖頭(7-1)固定在第二橫梁(3-2)，所述固定橫梁(12)上固定有兩個鎖鉤(7-2)；閉鎖頭(7-1)和鎖鉤(7-2)形成卡扣結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS慣性閉鎖開關(guān)，其特征在于，所述第二橫梁(3-2)兩端分別設(shè)有鎖鉤，第二橫梁其中一端鎖鉤與離心保險機構(gòu)的鎖鉤共同構(gòu)成下級鎖止機構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS慣性閉鎖開關(guān)，其特征在于，所述襯底(1)為硅基襯底。