[發明專利]一種三維物鏡定位裝置及其安裝方法

有效

• 申請號: 202010922734.0
• 申請日: 2020-09-04
• 公開（公告）號: CN112526699B
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發明（設計）人: 江穎;邊珂;鄭聞天
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: G02B7/08
• 分類號: G02B7/08;G02B7/02
• 代理公司: 北京集智東方知識產權代理有限公司 11578
• 代理人: 陳亞斌;關兆輝

1.一種三維物鏡定位裝置，其特征在于，包括：

縱向致動機構(2)，所述縱向致動機構(2)包括縱向移動部件(20)和驅動所述縱向移動部件(20)做縱向直線運動的縱向驅動部件(10)；

第一橫向致動機構(3)，所述第一橫向致動機構(3)包括第一橫向移動部件(40)和驅動所述第一橫向移動部件(40)沿第一方向做橫向直線運動的第一橫向驅動部件(30)；以及

第二橫向致動機構(4)，所述第二橫向致動機構(4)包括第二橫向移動部件(60)和驅動所述第二橫向移動部件(60)沿第二方向做橫向直線運動的第二橫向驅動部件(50)；

所述縱向致動機構(2)的頂部與二維掃描臺(6)相連；所述縱向致動機構(2)、第一橫向致動機構(3)和第二橫向致動機構(4)按照自上而下的順序堆棧連接；所述第一方向和第二方向垂直；

所述縱向驅動部件(10)包括第一托槽(210)，所述第一托槽(210)的截面為六邊形；所述第一托槽(210)內設置有第一負載棱柱(211)，所述第一負載棱柱(211)與第一托槽(210)之間設置有第九壓電陶瓷堆垛，所述第九壓電陶瓷堆垛一端與第一托槽(210)固定連接，另一端與第一負載棱柱(211)緊密接觸；

所述第一托槽(210)包括第七安裝平面(212)，所述第七安裝平面(212)的兩端分別設置有第八安裝平面(213)和第九安裝平面(214)，所述第八安裝平面(213)的兩端分別設置有第七安裝平面(212)和第一延拓面，所述第一延拓面的端部設置有第十安裝平面(215)；所述第九安裝平面(214)的兩端分別設置有第七安裝平面(212)和第二延拓面，所述第二延拓面的端部設置有第十一安裝平面(216)；所述第一負載棱柱(211)的外側設置有第十二安裝平面(217)、第十三安裝平面(218)和第十四安裝平面(219)，所述第十二安裝平面(217)的外側粘接設置有第一藍寶石片(220)，所述第十三安裝平面(218)的外側粘接設置有第二藍寶石片(221)，所述第十四安裝平面(219)的外側粘接設置有第三藍寶石片(222)；所述第八安裝平面(213)和第一藍寶石片(220)之間設置有第一壓電陶瓷堆垛(223)和第二壓電陶瓷堆垛(224)，所述第九安裝平面(214)與第三藍寶石片(222)之間設置有第三壓電陶瓷堆垛(225)和第四壓電陶瓷堆垛(226)；所述第十安裝平面(215)和第十一安裝平面(216)之間設置有彈性件組，所述彈性件組包括互相平行的第一彈性件(228)和第二彈性件(229)；所述彈性件組與第二藍寶石片(221)之間設置有第一壓電陶瓷堆垛組(227)。

2.根據權利要求1所述的三維物鏡定位裝置，其特征在于：所述縱向致動機構(2)的內部設置有縱向精聚焦機構(5)，所述二維掃描臺(6)設置在所述縱向精聚焦機構(5)的上方。

3.根據權利要求1所述的三維物鏡定位裝置，其特征在于：所述縱向移動部件(20)的頂部與第一連接件(101)相連，所述第一連接件(101)的頂部與所述二維掃描臺(6)相連；所述第一橫向驅動部件(30)的頂部與第二連接件(301)相連，所述第二連接件(301)的頂部與所述縱向驅動部件(10)相連；所述第二橫向驅動部件(50)的頂部與第三連接件(401)相連，所述第三連接件(401)的頂部與所述第一橫向移動部件(40)相連；所述第二橫向移動部件(60)的底部與第四連接件(501)相連，所述第四連接件(501)與底座(7)相連。

4.根據權利要求3所述的三維物鏡定位裝置，其特征在于：所述第一橫向驅動部件(30)包括第二托槽(308)，所述第二托槽(308) 的截面為梯形；所述第二托槽(308)內設置有第二負載棱柱(309)，所述第二負載棱柱(309)與所述第二托槽(308)之間設置有第十八壓電陶瓷堆垛，所述第十八壓電陶瓷堆垛一端與所述第二托槽(308)固定連接，另一端與所述第二負載棱柱(309)緊密接觸。