[發明專利]工件托架、薄膜沉積腔體、薄膜沉積方法

有效

• 申請號: 202010920153.3
• 申請日: 2020-09-04
• 公開（公告）號: CN112680707B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發明（設計）人: 朱玄之;鄭文豪;陳彥羽;戴逸明
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;H01L21/687
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種用于物理氣相沉積加工的工件托架，其特征在于，包括：

一軸，該軸具有一第一末端及一第二末端；

一工件夾，該工件夾連接至該軸的該第一末端，該工件夾包括用于支撐一工件的一工件支撐表面，該工件支撐表面界定一第一平面；

一可移動接頭，該接頭是在該軸與該工件夾之間，該可移動接頭將該工件夾連接至該軸的該第一末端，該可移動接頭可傾斜至該第一平面并傾斜脫離該第一平面；

一加熱器，在該工件夾的一圓形支撐區上，具有在使用中接觸該工件的一表面，該加熱器具有第一加熱線圈、第二加熱線圈及第三加熱線圈，其中該第一加熱線圈具有一第一末端以及位于該第一末端的相對側的一第二末端，該加熱器的該第二加熱線圈連續地鄰接于該第一加熱線圈的該第一末端與該第二末端之間，且向外延伸并包圍該第一加熱線圈，該第二加熱線圈與該第一加熱線圈之間的間距在靠近該第一末端以及該第二末端處是朝向該第一末端以及該第二末端漸小，該加熱器的該第三加熱線圈連續地鄰接于該第一加熱線圈的該第一末端與該第二末端之間，且向外延伸并包圍該第二加熱線圈，該第三加熱線圈與該第二加熱線圈之間的間距在靠近該第一末端以及該第二末端處是朝向該第一末端以及該第二末端漸小；以及

一旋轉馬達，該旋轉馬達連接至該軸的該第二末端，該旋轉馬達在操作中使該軸旋轉。

2.根據權利要求1所述的工件托架，其特征在于，該可移動接頭基于該軸的一旋轉速率使該工件夾傾斜。

3.根據權利要求2所述的工件托架，其特征在于，該可移動接頭可傾斜脫離該第一平面約0度至約90度。

4.根據權利要求2所述的工件托架，其特征在于，該可移動接頭具有在一三維空間中的六個移動自由度。

5.根據權利要求1所述的工件托架，其特征在于，

其中該第一加熱線圈加熱該加熱器的該表面的一第一區，該第二加熱線圈加熱該加熱器的該表面的一第二區，且該第三加熱線圈加熱該加熱器的該表面的一第三區。

6.根據權利要求5所述的工件托架，其特征在于，該第一區、該第二區及該第三區中每一者的一溫度可基于該第一加熱線圈、該第二加熱線圈及該第三加熱線圈各自控制為一溫度范圍的一不同集合。

7.根據權利要求5所述的工件托架，其特征在于，通過該第一加熱線圈加熱的該第一區定位于該加熱器的該表面的一中心上，通過該第二加熱線圈加熱的該第二區鄰近于該第一區且在該第一區的一圓周外部，通過該第三加熱線圈加熱的該第三區鄰近于該第二區且沿著該加熱器的該表面的一邊緣定位。

8.根據權利要求5所述的工件托架，其特征在于，該第一區及該第二區彼此部分重疊，且該第二區及該第三區彼此部分重疊。

9.一種薄膜沉積腔體，其特征在于，包括：

一工件托架，該工件托架包括：

一軸，該軸具有一第一末端及一第二末端，該軸用以沿著一軸線旋轉；

該軸的該第一末端上的一夾，該夾包括用于支撐一工件的一支撐區；

該軸與該夾之間的一可移動接頭，該可移動接頭用以使該夾傾斜；

一加熱器，在該夾的該支撐區上，該加熱器具有在使用中接觸該工件的一表面，該加熱器具有第一加熱線圈、第二加熱線圈及第三加熱線圈，其中該第一加熱線圈具有一第一末端以及位于該第一末端的相對側的一第二末端，該加熱器的該第二加熱線圈連續地鄰接于該第一加熱線圈的該第一末端與該第二末端之間，且向外延伸并包圍該第一加熱線圈，該第二加熱線圈與該第一加熱線圈之間的間距在靠近該第一末端以及該第二末端處是朝向該第一末端以及該第二末端漸小，該加熱器的該第三加熱線圈連續地鄰接于該第一加熱線圈的該第一末端與該第二末端之間，且向外延伸并包圍該第二加熱線圈，該第三加熱線圈與該第二加熱線圈之間的間距在靠近該第一末端以及該第二末端處是朝向該第一末端以及該第二末端漸小；

一旋轉馬達，該旋轉馬達連接至該軸的該第二末端以控制沿著該軸線的一旋轉速率；以及

一判定電路，該判定電路連接至該工件托架以電控制該可移動接頭及該旋轉馬達的移動。