[發明專利]化學品輸送系統和消除化學品輸送管路靜電的方法

在審

• 申請號: 202010915729.7
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN114143947A
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 邱垂翰;王青;秦紅星;張玉;安建路
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: H05F3/00
• 分類號: H05F3/00;H01L21/67
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 張彬彬

本申請涉及一種化學品輸送系統和消除化學品輸送管路靜電的方法，包括化學試劑輸送管、儲液裝置和氣溶膠發生裝置。所述儲液裝置用于儲存氣溶膠產生溶液。所述氣溶膠發生裝置的輸入端和輸出端分別與所述儲液裝置和所述化學試劑輸送管連通。所述儲液裝置中的氣溶膠產生溶液進入所述氣溶膠發生裝置。所述氣溶膠發生裝置將所述氣溶膠產生溶液由液態轉換為氣溶膠的狀態。所述氣溶膠進入所述化學試劑輸送管內擴散，并吸附消除所述化學試劑輸送管中的帶電荷的離子，從而可以避免靜電離子遇到易燃易爆的化學試劑發生火災或者爆炸。

技術領域

本申請涉及半導體設備技術領域，特別是涉及化學品輸送系統和消除化學品輸送管路靜電的方法。

背景技術

在半導體器件的制造過程中，晶圓是必不可少的基礎元件。為了提高生產效率，在晶圓清洗后通常需要對晶圓進行快速烘干。高濃度異丙醇因其高揮發性，能夠在晶圓清洗后提高晶圓的烘干效率。

但是，高濃度異丙醇具有較強的腐蝕性，用不銹鋼管傳輸高濃度異丙醇容易對不銹鋼管造成腐蝕，增加管路泄漏風險。因此大部分廠家會選擇有超強抗拉、抗溫度的聚偏氟乙烯(PVDF)材質的化學試劑輸送管路輸送高濃度異丙醇溶液。但聚偏氟乙烯材質屬高阻介質，因此致使化學試劑輸送管路內積聚的靜電無法及時消散，而高濃度異丙醇揮發會在化學試劑輸送管內形成可燃性氣體，其濃度高達5000ppm。在化學試劑輸送管路內，靜電遇到高濃度異丙醇可能會造成火災或者爆炸等危險。

發明內容

基于此，有必要針對在化學試劑輸送管路內，靜電遇到高濃度異丙醇可能會造成火災或者爆炸等危險的問題，提供一種化學品輸送系統和消除化學品輸送管路靜電的方法。

一種化學品輸送系統，包括：

化學試劑輸送管；

儲液裝置，用于儲存氣溶膠產生溶液；以及

氣溶膠發生裝置，分別與所述儲液裝置和所述化學試劑輸送管管壁連通，用于將所述氣溶膠產生溶液由液態轉換為氣溶膠的狀態，并將所述氣溶膠輸送至所述化學試劑輸送管內，以消除所述化學試劑輸送管中的靜電。

在一個實施例中，所述氣溶膠發生裝置包括：

文丘里管，所述文丘里管具有第一端口和第二端口、位于所述第一端口和所述第二端口之間的變徑部以及與所述變徑部連接的進液口，所述第一端口設置有氣體接口，所述第二端口與所述化學試劑輸送管連通，所述進液口與所述儲液裝置連通，所述氣溶膠產生溶液經由所述進液口進入所述變徑部，其中，從所述第一端口和所述第二端口到所述變徑部，所述文丘里管的直徑逐級減小。

在一個實施例中，還包括壓力控制裝置，所述壓力控制裝置與所述文丘里管的所述氣體接口連接，用于控制進入所述氣體接口的氣體的壓力。

在一個實施例中，所述氣溶膠發生裝置包括溶液運輸管，所述儲液裝置包括液體處理裝置，所述液體處理裝置設置于所述溶液運輸管，并位于所述儲液裝置和所述文丘里管之間。

在一個實施例中，還包括氣溶膠輸送裝置，所述氣溶膠輸送裝置用于連接所述文丘里管的所述第二端口219與所述化學試劑輸送管管壁，所述氣溶膠輸送裝置與所述化學試劑輸送管管壁垂直連接。

在一個實施例中，所述氣溶膠輸送裝置還包括多個第一連通口，所述多個第一連通口沿著所述化學試劑輸送管的延伸方向在所述化學試劑輸送管間隔設置，所述氣溶膠發生裝置的輸出端與所述多個第一連通口連通。

在一個實施例中，還包括控制裝置，與所述氣溶膠發生裝置電連接，用于在所述化學試劑輸送管中流動所述化學試劑時控制所述氣溶膠發生裝置將所述氣溶膠產生溶液由液態轉換為氣溶膠的狀態。

本申請實施例還提供一種消除化學品輸送管路靜電的方法，包括：

提供氣溶膠發生裝置；