[發(fā)明專利]光軸調(diào)整治具以及激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010914819.4
• 申請(qǐng)日: 2020-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN112439989A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 能丸圭司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B23K26/064
• 分類號(hào): B23K26/064;B23K26/046;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

提供光軸調(diào)整治具以及激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法，能夠定量地判斷激光束的光軸是否與被加工物垂直。光軸調(diào)整治具包含：平行平板(42)，其在上表面(421)和下表面(422)形成有反射膜；以及拍攝單元(43)，其配設(shè)于比平行平板(42)靠下方的位置，能夠拍攝激光束，平行平板(42)由對(duì)于激光束的波長具有透過性的材料構(gòu)成，使激光束經(jīng)由平行平板(42)而入射到拍攝單元(43)，根據(jù)拍攝單元(43)所拍攝的激光束的光束形狀來檢測(cè)激光束的光軸的傾斜度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光軸調(diào)整治具以及激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法。

背景技術(shù)

在使用激光束對(duì)被加工物實(shí)施加工的激光加工裝置中，構(gòu)成為使用多個(gè)光學(xué)元件將從激光振蕩器射出的激光束傳播至加工點(diǎn)，并利用聚光透鏡進(jìn)行聚光而對(duì)被加工物進(jìn)行加工(例如，參照專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-099667號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2011-25279號(hào)公報(bào)

這里，在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2等所示的現(xiàn)有的激光加工裝置中，當(dāng)激光束相對(duì)于被加工物傾斜地入射時(shí)，有可能產(chǎn)生被加工物被傾斜地加工或者在所形成的槽的兩側(cè)加工結(jié)果產(chǎn)生差異等加工不良。因此，現(xiàn)有的激光加工裝置需要進(jìn)行激光束的光軸調(diào)整，以使激光束相對(duì)于被加工物垂直地照射。

目前，作為這種確認(rèn)方法，通常是使用使激光束反射的反射鏡來確認(rèn)返回光的方法。但是，在該方法中，由于通過目測(cè)量進(jìn)行判斷，因此存在基準(zhǔn)模糊的問題。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于，提供能夠定量地判斷激光束的光軸是否與被加工物垂直的光軸調(diào)整治具和激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供光軸調(diào)整治具，其具有：平行平板，其在上表面和下表面形成有反射膜；以及拍攝單元，其配設(shè)于比該平行平板靠下方的位置，能夠拍攝激光束，該平行平板由對(duì)于該激光束的波長具有透過性的材料構(gòu)成，使激光束經(jīng)由該平行平板而入射到該拍攝單元，該光軸調(diào)整治具能夠根據(jù)該拍攝單元所拍攝的該激光束在該平行平板內(nèi)的內(nèi)部反射的像來檢測(cè)該激光束的光軸的傾斜度。

優(yōu)選的是，所述光軸調(diào)整治具還具有顯示單元，該顯示單元顯示該拍攝單元所拍攝的圖像。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法，確認(rèn)激光加工裝置的光軸，該激光加工裝置具有：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；激光束照射單元，其向該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物照射激光束而實(shí)施加工；以及移動(dòng)單元，其使該卡盤工作臺(tái)和該激光束照射單元在X軸方向和與該X軸方向垂直的Y軸方向上相對(duì)地移動(dòng)，其中，該激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法具有如下的步驟：準(zhǔn)備步驟，準(zhǔn)備光軸調(diào)整治具，該光軸調(diào)整治具包含平行平板和拍攝單元，該平行平板由對(duì)于該激光束的波長具有透過性的材料構(gòu)成，并且在上表面和下表面形成有反射膜，該拍攝單元配設(shè)于比該平行平板靠下方的位置，能夠拍攝激光束；光軸調(diào)整治具定位步驟，將該光軸調(diào)整治具定位成使該激光束經(jīng)由該平行平板而入射到該拍攝單元；拍攝步驟，在該光軸調(diào)整治具定位步驟之后，使從激光振蕩器射出的激光束入射到該拍攝單元，對(duì)該激光束進(jìn)行拍攝；以及傾斜度檢測(cè)步驟，根據(jù)在該拍攝步驟中拍攝到的該激光束在該平行平板內(nèi)的內(nèi)部反射的像來檢測(cè)該激光束的光軸的傾斜度。

優(yōu)選的是，在所述激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法中，該激光加工裝置還包含顯示單元，該顯示單元顯示該拍攝單元所拍攝的圖像。

本申請(qǐng)發(fā)明起到能夠定量地判斷激光束的光軸是否與被加工物垂直的效果。

附圖說明

圖1是示出進(jìn)行實(shí)施方式的激光加工裝置的光軸確認(rèn)方法的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。

圖2是示意性地示出圖1所示的激光加工裝置的激光束照射單元的結(jié)構(gòu)的圖。

圖3是示出圖2所示的激光束照射單元的反射鏡保持架的結(jié)構(gòu)例的立體圖。