[發(fā)明專利]一種基于金屬及二氧化釩的太赫茲開關(guān)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010913766.4 | 申請日： | 2020-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN112072323B | 公開（公告）日： | 2023-05-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐弼軍;閆夢瑤;孫志超;吳白瑞;程盼;吳震東 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江科技學(xué)院 |
| 主分類號： | H01Q17/00 | 分類號： | H01Q17/00 |
| 代理公司： | 杭州萬合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 丁海華 |
| 地址： | 310012 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 金屬 氧化 赫茲 開關(guān) | ||
1.一種基于金屬及二氧化釩的太赫茲開關(guān)，其特征在于：包括由下向上依次層疊的截面為正方形的二氧化釩層(1)和二氧化硅層(2)；所述二氧化硅層(2)的表面設(shè)有金屬貼片層(3)，所述的金屬貼片層(3)包括設(shè)置在二氧化硅層表面的方形環(huán)貼片(4)，方形環(huán)貼片(4)圍合的二氧化硅層(2)表面區(qū)域內(nèi)設(shè)有十字形貼片(5)；所述二氧化硅層(2)的厚度為10μm，寬度10μm，介電常數(shù)為3.9；所述二氧化釩層(1)的厚度為0.2μm，寬度10μm；所述方形環(huán)貼片(4)的厚度為0.2μm，方形環(huán)的外邊長為4.25μm，內(nèi)邊長為3.25μm，寬度為0.5μm；所述十字形貼片(5)的厚度為0.2μm，長度為2.4μm，寬度為1μm；所述方形環(huán)貼片(4)和十字形貼片(5)之間的二氧化硅層(2)的表面設(shè)有呈陣列分布的石墨烯層(6)，所述石墨烯層(6)的四條邊沿中部分別設(shè)有波浪形的拓?fù)溥吔?7)；所述石墨烯層(6)的四角處分別設(shè)有透射孔點(diǎn)陣(8)，每個(gè)角處的透射孔點(diǎn)陣(8)呈正三角矩陣狀；四個(gè)所述的透射孔點(diǎn)陣(8)之間構(gòu)成陣列柵。
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