[發明專利]一種用于質譜檢測的真空高壓運動平臺

在審

• 申請號: 202010912687.1
• 申請日: 2020-09-02
• 公開（公告）號: CN112014457A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 徐振;崔旭;劉驁;紀誠;付亞男;程文播;胡瑋
• 申請（專利權）人: 天津國科醫工科技發展有限公司
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 天津企興智財知識產權代理有限公司 12226
• 代理人: 王艷華

1.一種用于質譜檢測的真空高壓運動平臺，其特征在于：包括腔體、高壓傳導部件、樣品靶板拖、xy運動機構，所述腔體內部底板上設有XY運動機構、所述高壓傳導部件一端與腔體連接，另一端與樣品靶板拖連接，所述樣品靶板拖連接在xy運動機構上。

2.根據權利要求1所述的一種用于質譜檢測的真空高壓運動平臺，其特征在于：所述腔體內部底板上設有x軸導軌定位槽，右側壁設有分子泵接口、高壓電極接口，后側壁設有潘寧規接口，前側壁設有電極驅動轉接航插接口。

3.根據權利要求1所述的一種用于質譜檢測的真空高壓運動平臺，其特征在于：所述高壓傳導部件包括真空高壓電極、高壓傳導極片、高壓引入連接件、絕緣柱、接觸銅刷，所述真空高壓電極前端穿出腔體右側壁上的高壓電極接口，后端連接高壓傳導極片，所述高壓傳導極片另一端連接高壓引入連接件，所述高壓引入連接件另一端底部連接有絕緣柱，所述絕緣柱底部連接在xy運動機構的x連接板上表面，所述接觸銅刷固定連接在高壓引入連接件前端下側，且與高壓傳導極片的上表面可接觸連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于質譜檢測的真空高壓運動平臺，其特征在于：所述樣品靶板拖包括靶拖、絕緣連接柱、靶拖固定板，所述靶拖固定板固定連接在XY運動機構的y連接板上，所述靶拖固定板上表面設有絕緣連接柱，所述絕緣連接柱的頂部連接有靶拖。

5.根據權利要求1所述的一種用于質譜檢測的真空高壓運動平臺，其特征在于：所述靶拖內部設有導氣孔。

6.根據權利要求1所述的一種用于質譜檢測的真空高壓運動平臺，其特征在于：所述xy運動機構包括x軸導軌、x軸電機、x軸絲杠、x連接板、y軸電機、y軸絲杠、y軸絲杠螺母、y連接板，兩個所述x軸導軌分別設置在腔體內的x軸導軌定位槽中，兩個所述x軸導軌上共同滑動連接有x連接板，所述x連接板通過y軸導軌連接有y連接板，所述y連接板的上表面固定連接有樣品靶板拖，所述x軸電機和y軸電機分別通過齒輪減速器連接x軸絲杠和y軸絲杠，并通過x軸絲杠螺母、y軸絲杠螺母分別連接x連接板、y連接板，所述x連接板邊緣處連接有螺母連接板，所述x軸絲杠螺母連接在螺母連接板上，所述x軸絲杠的另一端連接有軸承固定座，所述軸承固定座固定在腔體內部底板上，所述軸承固定座外側設有與x軸絲杠連接的x編碼器，所述x連接板的兩側均設有x方向光耦擋片，在所述腔體內側底部兩端還設有x光耦，所述y連接板的兩側設有y光耦擋片，所述x連接板上表面兩側均設有y軸光耦。