[發明專利]一種解耦式雙框架微陀螺

在審

• 申請號: 202010910335.2
• 申請日: 2020-09-02
• 公開（公告）號: CN112097751A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 丁希聰;凌方舟;蔣樂躍;劉堯;劉海東;蘇云鵬
• 申請（專利權）人: 美新半導體（天津）有限公司
• 主分類號: G01C19/5747
• 分類號: G01C19/5747;B81B7/02
• 代理公司: 蘇州簡理知識產權代理有限公司 32371
• 代理人: 朱亦倩

1.一種解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，其包括：

左驅動質量塊組和右驅動質量塊組，其中所述左驅動質量塊組和右驅動質量塊組均為一側開口的半包圍結構，且所述左驅動質量塊組和右驅動質量塊組的開口相對設置；

左哥氏質量塊組和右哥氏質量塊組，其中所述左哥氏質量塊組和右哥氏質量塊組均為一側開口的半包圍結構，且所述左哥氏質量塊組和右哥氏質量塊組的開口相對設置；

左檢測質量塊和右檢測質量塊，所述左哥氏質量塊組和所述左驅動質量塊組依次套設在所述左檢測質量塊的外圍，所述左哥氏質量塊組和所述左驅動質量塊組的開口朝向相同；

所述右哥氏質量塊組和所述右驅動質量塊組依次套設在所述右檢測質量塊的外圍，所述右哥氏質量塊組和所述右驅動質量塊組的開口朝向相同。

2.根據權利要求1所述的解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，

還包括外框架，所述左驅動質量塊組和右驅動質量塊組容納于所述外框架內。

3.根據權利要求1所述的解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，

所述左驅動質量塊組和右驅動質量塊組對稱分布，所述左驅動質量塊組和右驅動質量塊組通過兩個驅動質量塊組解耦梁相連，所述驅動質量塊組解耦梁固定在驅動質量塊組解耦梁錨點上，所述驅動質量塊組解耦梁錨點固定連接在微陀螺基體上，

所述驅動質量塊組解耦梁被配置的促使所述左驅動質量塊組和所述右驅動質量塊組保持相反的方向運動。

4.根據權利要求3所述的解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，

所述左驅動質量塊組和右驅動質量塊組均包括兩個驅動質量塊，以及連接該兩個驅動質量塊的連接臂，每個所述驅動質量塊具有第一驅動端和第二驅動端，所述連接臂的兩端分別與所述兩個驅動質量塊的第一驅動端相連，以使得所述左驅動質量塊組和右驅動質量塊組分別形成半包圍結構；

所述左驅動質量塊組中的一個所述驅動質量塊的第二驅動端與所述右驅動質量塊組中的一個所述驅動質量塊的第二驅動端通過第一驅動質量塊組解耦梁相連，

所述左驅動質量塊組中的另一個所述驅動質量塊的第二驅動端與所述右驅動質量塊組中的另一個所述驅動質量塊的第二驅動端通過第二驅動質量塊組解耦梁相連。

5.根據權利要求4所述的解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，

每個所述驅動質量塊上設置有兩個驅動折疊梁，兩個所述驅動折疊梁分別位于所述驅動質量塊的第一驅動端和第二驅動端，且兩個所述驅動折疊梁靠近所述哥氏質量塊；

每個所述驅動質量塊上還設置有兩個驅動電極和一個驅動反饋電極，所述驅動電極和驅動反饋電極設置在背離所述哥氏質量塊的一側。

6.根據權利要求5所述的解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，

每個所述驅動質量塊的第一驅動端和第二驅動端分別設置有一個所述驅動折疊梁錨點，所述驅動折疊梁通過驅動折疊梁錨點固定連接在微陀螺基體上，所述驅動折疊梁的軸線方向與所述驅動質量塊的第一驅動端和第二驅動端的中心連線方向相同。

7.根據權利要求1所述的解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，

所述左哥氏質量塊組和右哥氏質量塊組均包括兩個哥氏質量塊，以及連接該兩個哥氏質量塊的連接桿，每個所述哥氏質量塊具有第一端和第二端，所述連接桿的兩端分別與所述兩個哥氏質量塊的第一端相連，以使得所述左哥氏質量塊組和右哥氏質量塊組分別形成半包圍結構；

每個所述哥氏質量塊的第一端和第二端分別設置有一個檢測解耦梁，每個檢測解耦梁的一端連接哥氏質量塊，另一端連接驅動質量塊，所述檢測解耦梁被設置的使得所述哥氏質量塊隨所述驅動質量塊運動。

8.根據權利要求7所述的解耦式雙框架微陀螺，其特征在于，

所述檢測解耦梁沿所述連接桿的軸向方向布置，所述檢測解耦梁沿所述連接桿的軸線方向的剛度大于其沿所述哥氏質量塊第一端和第二端連線方向的剛度。