[發(fā)明專利]電磁波吸收導(dǎo)熱片

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010909764.8
• 申請日: 2017-03-24
• 公開（公告）號: CN112055513B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 久村達雄;久保佑介;荒卷慶輔;良尊弘幸
• 申請（專利權(quán)）人: 迪睿合電子材料有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20;H05K9/00;H01L23/367;H01L23/373;H01L23/42;H01L23/552
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 包躍華;金玉蘭

本發(fā)明提供一種具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性及電磁波吸收性的電磁波吸收導(dǎo)熱片。為了解決上述課題，本發(fā)明的電磁波吸收導(dǎo)熱片的特征在于，包含高分子基體成分、磁性金屬粉和沿一個方向取向的纖維狀的導(dǎo)熱性填料。

本申請是國際申請日為2017年03月24日、國際申請?zhí)枮镻CT/JP2017/012155、進入中國申請?zhí)枮?01780017965.3、發(fā)明名稱為“電磁波吸收導(dǎo)熱片、電磁波吸收導(dǎo)熱片的制造方法及半導(dǎo)體裝置”的申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性及電磁波吸收性的電磁波吸收導(dǎo)熱片、電磁波吸收導(dǎo)熱片的制造方法及半導(dǎo)體裝置。

背景技術(shù)

近年來，電子設(shè)備越來越追求小型化的傾向，同時由于應(yīng)用的多樣性而無法使耗電量那樣地變化，因此更加重視設(shè)備內(nèi)的散熱對策。

作為上述電子設(shè)備中的散熱對策，廣泛利用由銅和/或鋁等這樣的導(dǎo)熱率高的金屬材料制成的散熱板、熱管、或者散熱片等。這些導(dǎo)熱性優(yōu)異的散熱部件為了實現(xiàn)散熱效果或設(shè)備內(nèi)的溫度緩解，而被配置為接近作為電子設(shè)備內(nèi)的發(fā)熱部的半導(dǎo)體封裝等電子部件。另外，這些導(dǎo)熱性優(yōu)異的散熱部件被從作為發(fā)熱部的電子部件配置到低溫的位置。

但是，電子設(shè)備內(nèi)的發(fā)熱部是電流密度高的半導(dǎo)體元件等電子部件，電流密度高可認為是能夠成為不必要的輻射的成分的電場強度或磁場強度大的情況。因此，如果將由金屬制成的散熱部件配置在電子部件的附近，則進行熱量的吸收的同時存在也拾取在電子部件內(nèi)流通的電信號的諧波分量的問題。具體而言，因為散熱部件是利用金屬材料制成，所以存在其自身作為諧波分量的天線而發(fā)揮功能，或者作為諧波噪聲分量的傳遞路徑而起作用的情況。

為了解決這樣的問題，正在開發(fā)：為了切斷磁場的耦合，而在導(dǎo)熱性片中含有磁性材料的技術(shù)。

例如在專利文獻1中公開了如下技術(shù)：其是夾在CPU等半導(dǎo)體和散熱片之間而使用的電磁吸收導(dǎo)熱片，通過在硅酮(silicone)中混入軟磁性粉末和導(dǎo)熱填料，從而利用軟磁性粉末的磁吸收效果和導(dǎo)熱填料的導(dǎo)熱特性實現(xiàn)電磁波吸收和導(dǎo)熱特性的兼顧。

但是，在專利文獻1的技術(shù)中，雖然能夠看到對于電磁波吸收效果而言有一定的效果，但是針對片材的垂直方向的導(dǎo)熱率為1.5W/(m·K)左右，對于近年來對散熱的要求來說，未達到足夠的特性。

另外，在專利文獻2中公開了如下技術(shù)：其是含有纖維狀導(dǎo)電性碳和羰基鐵的電磁干擾抑制片，通過將纖維狀導(dǎo)電性碳和羰基鐵的體積比設(shè)為3～10：50～70，從而確保片材強度、柔軟性并增加電磁波吸收量。

但是，在專利文獻2的技術(shù)中，如果纖維狀導(dǎo)電性碳超過10體積％，則存在分散不良且無法獲得均勻的片材的問題，對于導(dǎo)熱性并沒有充分地考慮。

而且，在專利文獻3中公開了如下技術(shù)：通過使用在樹脂基體中包含碳纖維和磁性粉的電磁干擾抑制片，實現(xiàn)電磁噪聲的抑制及導(dǎo)熱率的提高。

但是，在專利文獻3的技術(shù)中，雖然能夠獲得良好的導(dǎo)熱性，但是在抑制電磁噪聲這一點上未獲得充分的效果，如果考慮實用化這一點，則期望實現(xiàn)進一步的改良。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2001-68312號公報

專利文獻2：日本專利第5103780號公報

專利文獻3：日本特開2011-134755號公報

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問題

本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，其目的在于提供一種具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性及電磁波吸收性的電磁波吸收導(dǎo)熱片及其制造方法。另外，本發(fā)明的其他目的在于提供一種使用該電磁波吸收導(dǎo)熱片，散熱性及電磁波抑制優(yōu)異的半導(dǎo)體裝置。

技術(shù)方案