[發明專利]太陽能電極模具的生產方法、設備與計算機可讀存儲介質有效
| 申請號: | 202010908576.3 | 申請日: | 2020-09-01 |
| 公開(公告)號: | CN112018197B | 公開(公告)日: | 2022-06-03 |
| 發明(設計)人: | 陳飛;詹興華;章錫武;陸獻忠 | 申請(專利權)人: | 深圳納弘熠岦光學科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/0224 | 分類號: | H01L31/0224;H01L31/18 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能 電極 模具 生產 方法 設備 計算機 可讀 存儲 介質 | ||
本發明公開了一種太陽能電極模具的生產方法,包括:確定電極的電池柵線的排布微觀形貌,并基于所述排布微觀形貌,確定所述電極的模具圖像;基于所述模具圖像,制作所述電極對應的曝光掩膜版;選擇基材,并基于所述曝光掩膜版和所述基材,制作所述電極的母模;選擇第一膠材,并基于所述母模和所述膠材,制作所述電極的子模;選擇第二膠材,并基于所述子模和所述第二膠材,制作所述電極的生產模具。本發明還公開了一種生產設備和計算機可讀存儲介質。本發明通過合理的柵線排布微觀形貌,制作優良的曝光掩膜版,并通過母模、子模的制作,確保生產模具與母模一致,從而生產出優良的太陽能電極模具。
技術領域
本發明涉及生產工藝技術領域,尤其涉及太陽能電極模具的生產方法、設備與計算機可讀存儲介質。
背景技術
目前的太陽能電池的電極,一般采用絲網印刷等方式進行制備,具體在硅片的兩面印刷正負電極和背場,最后進行燒結,從而使光照產生的載流子被導出,實現太陽能電池的光電轉化。
在制備過程中,一般將承載物,也即電池片放在模具,如網版,下面,漿料在刮刀的積壓下穿過模具的網孔,印刷到電池片上,形成電極,因此,如何制作優良的模具,是生產太陽能電池的關鍵步驟。
發明內容
本發明的主要目的在于提出一種太陽能電極模具的生產方法、設備與計算機可讀存儲介質,旨在制作優良的太陽能電極模具。
為實現上述目的,本發明提供一種太陽能電極模具的生產方法,所述太陽能電極模具的生產方法包括如下步驟:
確定電極的電池柵線的排布微觀形貌,并基于所述排布微觀形貌,確定所述電極的模具圖像;
基于所述模具圖像,制作所述電極對應的曝光掩膜版;
選擇基材,并基于所述曝光掩膜版和所述基材,制作所述電極的母模;
選擇第一膠材,并基于所述母模和所述膠材,制作所述電極的子模;
選擇第二膠材,并基于所述子模和所述第二膠材,制作所述電極的生產模具。
優選地,所述確定電極的電池柵線的排布微觀形貌的步驟包括:
基于預設光學模型,模擬入射光在所述電極表面的散射光及透射光;
基于所述入射光、所述散射光和所述透射光,確定所述電極的電池柵線的形狀,并確定所述電池柵線的排布信息;
基于所述形狀和所述排布信息,確定所述電池柵線的排布微觀形貌。
優選地,所述基于所述入射光和所述散射光,確定所述電極的電池柵線的形狀,并確定所述電池柵線的排布信息的步驟包括:
基于所述入射光和所述散射光,模擬所述電極的吸光效率,并基于所述吸光效率,確定所述電極的電池柵線的形狀;
確定所述電極對應的光生載流子的移動信息和衰減距離,并基于所述移動信息和所述衰減距離,確定所述電池柵線的排布信息。
優選地,所述基于所述曝光掩膜版和所述基材,制作所述電極的母模的步驟包括:
確定所述電池柵線的深度,并基于所述深度,確定光刻膠的涂膠厚度和涂旋速度;
基于所述涂膠厚度和涂旋速度,在所述基材上涂上所述光刻膠,并進行烘干;
基于所述曝光掩膜版,對烘干后的基材進行曝光,以得到所述電極的母模;
或者,
基于所述排布微觀形貌,對烘干后的基材進行激光曝光并顯影,以得到所述電極的母模。
優選地,所述基于所述曝光掩膜版,對烘干后的基材進行曝光,以得到所述電極的母模的步驟包括:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





