[發明專利]內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置

在審

• 申請號: 202010908163.5
• 申請日: 2020-09-02
• 公開（公告）號: CN111850499A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 靳偉;曹永軍;陳建飛
• 申請（專利權）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海申蒙商標專利代理有限公司 31214
• 代理人: 周宇凡

1.一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：包括陰極殼體、靶管、旋轉驅動裝置、冷卻液管路、導電電刷及外部電源裝置，其中所述靶管設置在所述陰極殼體內并通過單滾動軸承與所述旋轉驅動裝置構成傳動連接以使所述靶管在所述旋轉驅動裝置的驅動下旋轉，所述導電電刷與所述旋轉驅動裝置相連并與所述外部電源裝置相導通，所述冷卻液管路用于對所述靶管進行冷卻。

2.根據權利要求1所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：所述旋轉驅動裝置包括伺服電機、傳動機構、芯軸傳動機構，所述伺服電機通過所述傳動機構與所述芯軸傳動機構構成傳動配合，所述芯軸傳動機構與一靶管連接法蘭相固定，所述靶管連接法蘭與所述靶管相連接固定，使所述靶管在所述伺服電機的驅動下旋轉。

3.根據權利要求1所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：所述靶管設置有磁棒固定座，所述磁棒固定座的一端與所述陰極殼體相固定，另一端支撐所述靶管內的磁棒，所述磁棒與所述磁棒固定座之間構成限位約束，使所述靶管在所述旋轉驅動裝置的驅動下旋轉時處于靜止狀態。

4.根據權利要求1所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：所述冷卻液管路包括冷卻液管接頭、冷卻液進液通道、冷卻液回流通道，其中所述冷卻液管接頭分別設置在所述陰極殼體的冷卻液進口及冷卻液出口位置，所述冷卻液進口連通所述冷卻液進液通道，所述冷卻液進液通道通過所述磁棒及所述靶管連通所述冷卻液回流通道。

5.根據權利要求4所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：在所述冷卻液進液通道及所述冷卻液回流通道于所述靶管的進出位置設置有用于密封的動靜環。

6.根據權利要求1所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：所述外部電源裝置包括外部導電塊、內部導電板和絕緣底座，所述外部導電塊和所述內部導電板相導通，所述內部導電板通過所述陰極殼體與所述導電電刷相導通，所述分體式碳刷通過芯軸傳動機構時所述靶管帶電。

7.根據權利要求6所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：所述導電電刷為分體式電刷陣列機構。

8.根據權利要求7所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：所述分體式碳刷通過碳刷彈簧壓緊于所述芯軸傳動機構上。

9.根據權利要求7所述的一種內置式結構緊湊型旋轉陰極裝置，其特征在于：所述導電電刷與用于實現冷卻液密封的動靜環處于同一高度。